【摘要】本發明涉及微液滴控制在病毒檢測中的應用及 檢測方法和芯片，屬于生化檢測技術領域，本發明提出一種微 液滴控制技術在酶聯接免疫吸附劑測定法(ELISA法)及其變種 的免疫檢測法檢測病毒中的應用，并以此提出采用微液滴控制 技術實現病毒和蛋
【摘要】 一種“中”字形諧振式硅微機械壓力傳感器主要包括：基底、膜片以及敏感元件三部分，其中感受外界壓力的膜片利用MEMS工藝制作在基片上，在敏感元件上有兩個對稱的固定在基底的錨點以及中間固定在膜片上的“回”形結構，三個錨點通過兩個懸臂梁連接，“回”形錨點與與其相連的一對懸臂梁組成一個“中”字，稱該傳感器為“中”字形諧振式壓力傳感器；在每個懸臂梁上各用微機械工藝制作了兩個熱電阻，其中一個作激勵電阻，產生測試需要的位移，另一個用來拾取激勵信號。本發明結構簡單、抗干擾能力強、成本低、測試精度高，適用于對氣體壓力進行測試。 【專利類型】發明申請 【申請人】北京航空航天大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】100083北京市海淀區學院路37號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200610165575.4 【申請日】2006-12-22 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1986385A 【公開公告日】2007-06-27 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100465088C 【授權公告日】2009-03-04 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】B81B7/02; G01L7/08; G01L9/02 【發明人】樊尚春; 郭占社 【主權項內容】1、一種“中”字形諧振式硅微機械壓力傳感器，其特征在于：主要包括：基底、膜片 以及敏感元件三部分，其中感受外界壓力的膜片利用微機械工藝制作在基片上，在敏感元件 上有兩個對稱的固定在基底的錨點以及中間固定在膜片上的“回”形結構，三個錨點通過兩 個懸臂梁連接，“回”形錨點和與其相連的一對懸臂梁組成一個“中”字；在每個懸臂梁上 各用微機械工藝制作了兩個熱電阻，其中一個作激勵電阻，產生測試需要的位移，另一個用 來拾取激勵信號。 【當前權利人】北京航空航天大學 【當前專利權人地址】北京市海淀區學院路37號 【統一社會信用代碼】12100000400011227Y 【被引證次數】10 【被他引次數】10.0 【家族引證次數】5.0 【家族被引證次數】10
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