【摘要】一種具有機械式安全裝置的工具柜，其安全裝置包含有一固定于柜體內側面的底座，于底座上設置有一可相對底座上下移動的移動座，于移動座上設置有數個分別與各滑軌相對的鎖固座，各鎖固座上則設置有一可與抽屜上的卡制片相對卡抵的鎖制凸片，又于各滑軌
【摘要】 一種光學鄰近校正法，首先提供一光掩模圖案，其包括多個以端對端方式配置的線狀圖案。接著，進行一初步校正，于各線形圖案二端各附加一末端圖案。然后，進行一微調校正，以修正各線形圖案及末端圖案。其中，末端圖案為一不對稱圖案，且相鄰兩線狀圖案間的相鄰二末端圖案是以鏡像對稱或點對稱的方式排列。 【專利類型】發明申請 【申請人】聯華電子股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】中國臺灣新竹科學工業園區 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610005060.8 【申請日】2006-01-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101004550A 【公開公告日】2007-07-25 【公開公告年份】2007 【IPC分類號】G03F7/00; G03F1/00; H01L21/027; G03F1/36 【發明人】林金隆; 黃允圣; 莊宏親; 李潛福 【主權項內容】1.一種光學鄰近校正法，包括： 提供一光掩模圖案，該光掩模圖案包括多個線狀圖案，是以端對端方 式進行配置，各該線狀圖案延伸于一平面座標的X方向，且于Y方向上的 寬度為W； 進行一初步校正，于各該線形圖案二端各附加一末端圖案，各該末端 圖案包括： 一第一圖案，緊鄰于對應的線狀圖案的末端，該第一圖案在Y方 向上的最大寬度為W1，且從該線狀圖案末端起算，該第一圖案在X方向上 的最大長度為L1；以及 一第二圖案，緊鄰于該線狀圖案的末端與該第一圖案，該第二圖 案在Y方向上的最大寬度為W2，且從該線狀圖案末端起算，該第二圖案在 X方向上的最大長度為L2， 其中，W1+W2＞W，且L1＞L2；以及 進行一微調校正，以修正該些線形圖案及該些末端圖案。 【當前權利人】聯華電子股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣新竹科學工業園區 【被引證次數】8 【被自引次數】2.0 【被他引次數】6.0 【家族被引證次數】8
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