【摘要】一種生物的連續離子注入復合處理生產設備，主 要由小真空室和大速率抽氣的真空系統組成，真空系統采用機 械泵+擴散泵配置，擴散泵個數為至少兩個，每個擴散泵與真 空室的接口分別配置在樣品臺四周不同位置的真空室壁上。在 真空室壁上裝1－4個
【專利類型】外觀設計 【申請人】上海北大方正科技電腦系統有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】100871北京市海淀區成府路298號中關村方正大廈8層 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200630152294.6 【申請日】2006-05-23 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3640061D 【公開公告日】2007-05-02 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN3640061D 【授權公告日】2007-05-02 【授權公告年份】2007.0 【發明人】泮航杰 【主權項內容】無 【當前權利人】宏碁電腦(上海)有限公司 【當前專利權人地址】上海市黃浦區西藏中路168號3樓 【專利權人類型】有限責任公司(非自然人投資或控股的法人獨資) 【統一社會信用代碼】91310106134664750R
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