【摘要】大尺寸稀土各向異性粘結磁體的磁場凝膠注模 成型方法，屬于粉末冶金成型技術領域。工藝為：將丙烯酸羥 乙酯溶于甲苯，制成5～50vol.％均一穩定的預混液；向上述溶 液中加入分散劑后，于真空操作箱中Ar氣氛下與磁粉混合； 將所得混合料球
【摘要】 本發明涉及集成光柵干涉微機械加速度傳感器，包括第一玻璃片表面上設置金屬光柵和電極；硅片上設置質量塊，和質量塊上設置N個凸臺，并淀積一層反射面；及梁或膜上支撐質量塊，該質量 塊另一端與硅片形成的鍵合臺面連接；第一玻璃片帶有金屬光柵和電極的面與硅片上設置質量塊的反射面相對布置，且光柵的位置與硅島的位置相對，通過鍵合工藝形成一體，并且該硅片上的質量塊與玻璃間形成微小間隙，組成傳感器的敏感單元，光電檢測電路與敏感單元的電極連接。利用光柵衍射光斑的光強隨光柵面與反射面的距離的敏感變化特性，實現高靈敏度的加速度測量。利用MEMS技術和成熟的激光二極管、光電探測器，可以大規模生產，易于推廣應用。 【專利類型】發明申請 【申請人】清華大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】100084北京市100084－82＃ 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200610169643.4 【申請日】2006-12-26 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1987486A 【公開公告日】2007-06-27 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN1987486B 【授權公告日】2010-05-19 【授權公告年份】2010.0 【IPC分類號】G01P15/093; B81B7/02; B81C1/00; B81C3/00; G01P15/08; B81B7/00 【發明人】葉雄英; 伍康; 周兆英; 王曉浩 【主權項內容】1.一種集成光柵干涉微機械加速度傳感器，包括-由硅片(3)、質量塊(5) 和光柵梳齒組成的敏感單元，以及電極(9)和電極引出的接線端子(10)，與外界 的用于反饋測量和自檢測的光電檢測電路(15)相連，該光電檢測電路(15)由激光 二極管(13)和光電探測器(14)；其特征在于：還包括第一玻璃片，該第一玻璃片 (1)的一個表面上設置金屬光柵(8)和電極(9)；所述的硅片(3)上設置所 述的質量塊(5)，該質量塊(5)設置N個具有保護作用的凸臺(6)，并且鍍 一層金屬或硅做的反射面(7)；至少一根梁或膜(4)為用于支撐質量塊(5) 的彈性結構，所述質量塊(5)底部與梁或膜(4)連接，所述梁或膜(4)的一 端與硅片(3)形成的鍵合臺面連接；第一玻璃片(1)帶有金屬光柵(8)和電 極(9)的面與所述硅片(3)上設置質量塊的反射面(7)相對布置，且金屬光 柵(8)的位置與質量塊(5)的位置相對，通過鍵合安裝成一體，并且該硅片(3) 上帶有質量塊(5)的表面與第一玻璃片(1)之間形成間隙，組成所述的傳感器 的敏感單元。 【當前權利人】清華大學 【當前專利權人地址】北京市100084-82號 【專利權人類型】公立 【統一社會信用代碼】12100000400000624D 【引證次數】1.0 【被引證次數】16 【他引次數】1.0 【被自引次數】1.0 【被他引次數】15.0 【家族引證次數】1.0 【家族被引證次數】16
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