【摘要】一種砷化鎵砷化鋁分布布拉格反射鏡的濕法腐蝕方法，其特征在于，包括如下步驟：(A)在襯底上，使用分子束外延的方法外延生長砷化鎵緩沖層；(B)在砷化鎵緩沖層上生長多個周期分布布拉格反射鏡；(C)對分布布拉格反射鏡進行光刻，形成光刻膠圖形
【摘要】 本實用新型公開了一種法拉第裝置，包括：石墨 蓋板、外腔體、插線瓷座、內腔體、絕緣瓷塊、抑制電極、法 拉第進束窗、石墨擋板。其中石墨蓋板位于外腔體一側，起防 塵保護的作用；插線瓷座安裝在外腔體上；內腔體是金屬腔體， 在外腔體內部，通過絕緣瓷塊與外腔體相連；抑制電極通過絕 緣瓷塊固定在內腔體的前方；法拉第進束窗在外腔體上，用于 接收離子束；石墨擋板位于外腔體和法拉第進束窗外側。本實 用新型取樣精確、結構緊湊、體積小。 【專利類型】實用新型 【申請人】北京中科信電子裝備有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】100036北京市海淀區復興路乙20號匯通商務樓北門44號辦公樓2層東段 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200620012985.0 【申請日】2006-04-07 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2906916Y 【公開公告日】2007-05-30 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN2906916Y 【授權公告日】2007-05-30 【授權公告年份】2007.0 【發明人】易文杰; 許波濤; 龍會躍; 姚琛 【主權項內容】1.一種法拉第裝置，其特征在于：包括石墨蓋板、外腔體、插線 瓷座、內腔體、絕緣瓷塊、抑制電極、法拉第進束窗、石墨擋板，其 中石墨蓋板位于外腔體一側，起防塵保護的作用；插線瓷座安裝在外 腔體上；內腔體是金屬腔體，在外腔體內部，通過絕緣瓷塊與外腔體 相連；抑制電極通過絕緣瓷塊固定在內腔體的前方；法拉第進束窗在 外腔體上，用于接收離子束；石墨擋板位于外腔體和法拉第進束窗外 側。 【當前權利人】北京中科信電子裝備有限公司 【當前專利權人地址】北京市海淀區復興路乙20號匯通商務樓北門44號辦公樓2層東段 【專利權人類型】有限責任公司(法人獨資) 【統一社會信用代碼】911101127513429762 【被引證次數】TRUE 【家族被引證次數】TRUE
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