【摘要】本發(fā)明屬于液壓泵制造和控制技術(shù)，涉及對單向閥的改進，以及對壓電陶瓷的主動控制。該泵包括增壓機構(gòu)，吸油油路，壓縮腔，排油油路。其中增壓機構(gòu)采用智能材料壓電陶瓷作為換能機構(gòu)高頻震動，以一定的運動規(guī)律推動活塞直接驅(qū)動壓縮腔，同時使活塞上的
【摘要】 一種用于鍵合的清洗和干燥裝置，包括：一圓形底座，其下部為一圓盤，圓盤上有一凸柱，整體截面的形狀為倒T形；一裝樣容器，包括上下兩部分，下部為中空的圓柱體，其中間空出部分為圓柱形可套在底座的凸柱上；上部為方形體，其中間為帶有二級臺階的中空部；在其相對的兩側(cè)壁上開有兩個孔；該裝樣容器外壁的中間凸出有一圓形凸邊；兩根兩端帶螺紋的螺桿，下端接于底座，上端穿過一根橫梁，用螺帽接于螺桿的上端；兩個插片，插在方形體的側(cè)壁上開的孔內(nèi)；一卡帶為一環(huán)形體，其側(cè)壁上打有多數(shù)的小孔；當插片插入裝樣容器上的孔時，卡帶套置在插片處，以固定插片。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學院半導體研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100083北京市海淀區(qū)清華東路甲35號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610012043.7 【申請日】2006-05-31 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101083221A 【公開公告日】2007-12-05 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN100444347C 【授權(quán)公告日】2008-12-17 【授權(quán)公告年份】2008.0 【IPC分類號】H01L21/673; H01L21/67 【發(fā)明人】何國榮; 石巖; 楊國華; 鄭婉華; 陳良惠 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種用于鍵合的清洗和干燥裝置，其特征在于，包括 以下幾個部分： 一圓形底座，該圓形底座的下部為一圓盤，圓盤的上面中 間有一凸柱，整體截面的形狀為倒T形； 一裝樣容器，包括上下兩部分，下部為中空的圓柱體，其 中間空出部分為圓柱形可套在底座的凸拄上；上部為方形體， 該方形體的中間為帶有二級臺階的中空部；在方形體相對的兩 側(cè)壁上開有兩個孔；該裝樣容器外壁的中間凸出有一圓形凸 邊； 兩根兩端帶螺紋的螺桿，下端接于底座，上端穿過一根橫 梁，用螺帽接于螺桿的上端； 兩個插片，可插在裝樣容器上部方形體的側(cè)壁上開的孔 內(nèi)； 一卡帶，該卡帶為一環(huán)形體，該卡帶的側(cè)壁上打有多數(shù)的 小孔； 當插片插入裝樣容器上的孔時，卡帶套置在裝樣容器的上 部方形體上的插片處，以固定插片。 【當前權(quán)利人】中國科學院半導體研究所 【當前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)清華東路甲35號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000400012385U 【家族引證次數(shù)】5.0
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