【摘要】一種用動(dòng)力直接推進(jìn)旋翼的直升機(jī)，它是使用能 抗離心力的槳扇或風(fēng)扇渦輪機(jī)及內(nèi)燃機(jī)配槳，固定到旋翼間的 對(duì)稱(chēng)短翼上，使旋翼和傾斜器能正常工作，實(shí)現(xiàn)空中精準(zhǔn)定位， 或用移動(dòng)重心的控制方法使超輕型的直升機(jī)實(shí)現(xiàn)空中控制精 準(zhǔn)定位，并大幅降低了
【摘要】 本發(fā)明涉及一種場(chǎng)發(fā)射陰極裝置的制造方法。該場(chǎng)發(fā)射陰極裝置的制造方法包括以下步驟：提供一個(gè)襯底；在襯底上依次形成一層?xùn)艠O絕緣介質(zhì)層，一層?xùn)艠O金屬層和一層光刻膠層；微影光刻膠層形成一預(yù)定之圖案；分別蝕刻?hào)艠O金屬層和柵極絕緣介質(zhì)層以形成柵極，柵極絕緣介質(zhì)間隔體和柵極孔；對(duì)光刻膠層加熱并加壓使其面積增大；利用面積增大的光刻膠層作為掩模，在襯底上蒸鍍金屬催化劑層；在金屬催化劑層上生長(zhǎng)出碳納米管陣列以形成場(chǎng)發(fā)射源，該場(chǎng)發(fā)射源小于柵極孔。 【專(zhuān)利類(lèi)型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】清華大學(xué); 鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司 【申請(qǐng)人類(lèi)型】企業(yè),學(xué)校 【申請(qǐng)人地址】100084北京市海淀區(qū)清華大學(xué)－富士康納米科技研究中心310室 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610061097.2 【申請(qǐng)日】2006-06-09 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN101086940A 【公開(kāi)公告日】2007-12-12 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN101086940B 【授權(quán)公告日】2011-06-22 【授權(quán)公告年份】2011.0 【IPC分類(lèi)號(hào)】H01J9/02; C01B31/02 【發(fā)明人】鄭直; 范守善 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種場(chǎng)發(fā)射陰極裝置的制造方法，其包括以下步驟：提供一 個(gè)襯底；在襯底上依次形成一層?xùn)艠O絕緣介質(zhì)層，一層?xùn)艠O 金屬層和一層光刻膠層；微影光刻膠層形成一預(yù)定之圖案； 分別蝕刻?hào)艠O金屬層和柵極絕緣介質(zhì)層以形成柵極，柵極絕 緣介質(zhì)間隔體和柵極孔；對(duì)光刻膠層加熱并加壓使其面積增 大；利用面積增大的光刻膠層作為掩模，在襯底上蒸鍍金屬 催化劑層；在金屬催化劑層上生長(zhǎng)出碳納米管陣列以形成場(chǎng) 發(fā)射源，該場(chǎng)發(fā)射源小于柵極孔。 【當(dāng)前權(quán)利人】清華大學(xué); 鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司 【當(dāng)前專(zhuān)利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)清華大學(xué)-富士康納米科技研究中心310室; 廣東省深圳市寶安區(qū)龍華鎮(zhèn)油松第十工業(yè)區(qū)東環(huán)二路2號(hào) 【專(zhuān)利權(quán)人類(lèi)型】公立; 有限責(zé)任公司(外國(guó)法人獨(dú)資) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】12100000400000624D; 914403007084307436 【被引證次數(shù)】2 【被他引次數(shù)】2.0 【家族引證次數(shù)】13.0 【家族被引證次數(shù)】48
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