【專利類型】外觀設計【申請人】北京人因展業科技有限公司【申請人類型】企業【申請人地址】100086北京市海淀區萬泉河路68號紫金莊園6號樓305室【申請人地區】中國【申請人城市】北京市【申請人區縣】海淀區【申請號】CN20063012081
【摘要】 利用外差干涉法對激光波長進行測量的方法及 裝置，屬于激光測量技術領域。本發明先將被測單頻激光進行 移頻，產生雙頻激光，從而得到外差信號。采用外差干涉系統 將調制為雙頻激光后的標準波長激光和被測激光耦合到同一 干涉系統中，經干涉儀臂長的一段變化，比較兩激光外差信號 的位相改變量，獲得被測光波長值。本發明不同于以往波長測 量中采用的單頻干涉測量，單頻干涉測量只能測量、比較單頻 激光的干涉條紋的整數級次，而外差干涉法測量則采用測量、 比較激光外差信號的相位改變量，提高了波長測量精度。同時 由于采用外差方法，測量信號為交流信號，便于放大、信噪比 高，具有從高背景噪聲中提取小信號的優勢。 【專利類型】發明申請 【申請人】清華大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】100084北京市100084－82信箱 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200610083702.6 【申請日】2006-06-02 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1892193A 【公開公告日】2007-01-10 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100451581C 【授權公告日】2009-01-14 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】G01J9/02; G01J9/00 【發明人】李巖; 王昕; 張書練 【主權項內容】1.利用外差干涉法對激光波長進行測量的方法，其特征在于該方法包括如下步驟： 1)將被測單頻激光通過移頻裝置調制成偏振態互相垂直、光強相等，頻差為Δf的雙頻激光，得到外差信號； 2)將標準雙頻激光和經步驟1)調制的被測激光分別分出一部分作為其自身外差干涉的參考光，通過探測器接收后，分別作為標準激光和被測激光的參考信號；被測激光與標準激光的其余部分作為各自的測量光耦合到同一外差干涉系統中進行外差干涉； 3)將被測激光與標準激光的外差干涉信號通過探測器接收后，分別作為被測激光與標準激光的外差干涉的測量信號； 4)將步驟2)中所述的標準激光和被測激光的參考信號和步驟3)中所述的標準激光和被測激光的測量信號通過相位計轉換成被測激光和標準激光在干涉過程中的位相改變量； 5)通過公式 計算得到被測激光的波長值，其中m0、e0分別為標準光外差干涉信號相位的整、小數周期，λ0為標準激光的波長值；m1、e1分別為被測光外差干涉信號相位的整、小數周期，λx為被測光波長值； 6)對系統誤差進行修正得到修正后的被測光波長值。 【當前權利人】清華大學 【當前專利權人地址】北京市100084－82信箱 【專利權人類型】公立 【統一社會信用代碼】12100000400000624D 【被引證次數】7 【被他引次數】7.0 【家族引證次數】3.0 【家族被引證次數】21
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