【摘要】1.本產(chǎn)品的設(shè)計要點主要在產(chǎn)品鈴鐺和型號調(diào)節(jié)鈕。 2.本產(chǎn)品采用全塑制外殼，后部鏡面電鍍。。：【專利類型】外觀設(shè)計【申請人】北京愛德發(fā)高科技中心【申請人類型】科研單位【申請人地址】100080北京市海淀區(qū)北四環(huán)西路68號左岸工社81
【摘要】 一種基于采用微光機電系統(tǒng)的振動測量裝置，是 由用于敏感振動的微光機電系統(tǒng)和信號處理電路組成，敏感振 動的微光機電系統(tǒng)由單根探測光纖和硅基底上敏感振動的膜 片組成，膜片敏感出振動信號，通過單探測光纖的讀出方式將 振動信號讀取出來，再由同一單光纖傳導至后續(xù)的信號處理電 路，對敏感的信號進行光電轉(zhuǎn)換、放大、濾波處理，提取出振 動信號。其中微結(jié)構(gòu)元件采用了在半導體基底上刻蝕而成的膜 片結(jié)構(gòu)，通過控制對半導體基底的加工工藝，改變膜片的懸臂 梁結(jié)構(gòu)、厚度、面積尺寸、形狀、反射率以及表面褶皺的紋理， 達到增強系統(tǒng)探測能力的目的。本發(fā)明能使探測裝置敏感部分 尺寸降到與光纖同一量級，具有功耗小、結(jié)構(gòu)簡單，易于實現(xiàn) 的優(yōu)點。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】北京航空航天大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】100083北京市海淀區(qū)學院路37號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610114279.1 【申請日】2006-11-03 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1945237A 【公開公告日】2007-04-11 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN100507474C 【授權(quán)公告日】2009-07-01 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號】G01H9/00 【發(fā)明人】伊小素; 李瑞; 肖文; 劉德文; 劉洋; 韓艷玲 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種基于采用微光機電系統(tǒng)的振動測量裝置，其特征在于：由用于敏感 振動的微光機電系統(tǒng)和信號處理部分組成，敏感振動的微光機電系統(tǒng)由單根探 測光纖和硅基底上敏感振動的膜片組成，膜片敏感出振動信號，通過單探測光 纖的讀出方式將振動信號讀取出來，再由同一單光纖傳導至后續(xù)的信號處理電 路，對敏感的信號進行光電轉(zhuǎn)換、放大、濾波處理，提取出振動信號。 【當前權(quán)利人】北京航空航天大學 【當前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)學院路37號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000400011227Y 【被引證次數(shù)】5 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】4.0 【家族引證次數(shù)】10.0 【家族被引證次數(shù)】5
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