【摘要】徑向軸向六位集成一體化電渦流傳感器，其特征在于：由六位集成一體化電渦流傳感器和探測(cè)體組成，傳感器探頭和探測(cè)體之間形成徑向探測(cè)間隙和軸向探測(cè)間隙，所述的六位集成一體化電渦流傳感器共有六個(gè)通道，六個(gè)通道的傳感器探頭和前置放大器全部集成在
【摘要】 本實(shí)用新型公開了一種晶片臺(tái)掃描裝置，包括晶 片臺(tái)、密封法蘭、導(dǎo)向座、直線電機(jī)、運(yùn)動(dòng)軸，其中所述晶片 臺(tái)固定在運(yùn)動(dòng)軸的上端，運(yùn)動(dòng)軸穿過導(dǎo)向座、密封法蘭；直線 電機(jī)連接運(yùn)動(dòng)軸，推動(dòng)運(yùn)動(dòng)軸沿導(dǎo)向座作垂直方向的掃描運(yùn) 動(dòng)。本裝置采用新型的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)取代傳統(tǒng)的伺服電機(jī)加絲 杠組合使用的方式，提高了掃描響應(yīng)速度和運(yùn)動(dòng)精度，同時(shí)運(yùn) 動(dòng)更加平穩(wěn)；并且使用壽命更長(zhǎng)，免維護(hù)。 ： 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】北京中科信電子裝備有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】100036北京市海淀區(qū)復(fù)興路乙20號(hào)匯通商務(wù)樓北門44號(hào)辦公樓2層?xùn)|段 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200620008173.9 【申請(qǐng)日】2006-03-17 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN2890081Y 【公開公告日】2007-04-18 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN2890081Y 【授權(quán)公告日】2007-04-18 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號(hào)】C23C14/48; C23C14/54; H01L21/265; H01L21/67 【發(fā)明人】許波濤; 伍三忠; 郭健輝; 易文杰 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種晶片臺(tái)掃描裝置，其特征在于：包括晶片臺(tái)、密封法蘭、 導(dǎo)向座、直線電機(jī)、運(yùn)動(dòng)軸，其中所述晶片臺(tái)固定在運(yùn)動(dòng)軸的上端， 運(yùn)動(dòng)軸穿過導(dǎo)向座、密封法蘭；直線電機(jī)連接運(yùn)動(dòng)軸，推動(dòng)運(yùn)動(dòng)軸沿 沿導(dǎo)向座作垂直方向的掃描運(yùn)動(dòng)。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京中科信電子裝備有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)復(fù)興路乙20號(hào)匯通商務(wù)樓北門44號(hào)辦公樓2層?xùn)|段 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(法人獨(dú)資) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】911101127513429762
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