【摘要】一種塑料液體容器漏液檢測裝置，包括高壓變頻 電源[1]，高壓電極[2]，高壓電極傳動機構[3]，低壓電極[4]， 電流檢測單元[5]和待檢容器[6]。高壓電極[2]采用金屬材料制 成，為尖－尖對極結構或環形結構，固定在絕緣支架[7]
【摘要】 本發明提供一種等離子淋浴器，能夠產生中和用電子，用于在離子注入工藝中，在被注入晶片上產生的靜電積累進行中和，提高離子注入工藝的性能，消除靜電積累對注入晶片的危害。 【專利類型】發明申請 【申請人】北京中科信電子裝備有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】100036北京市海淀區復興路乙20號匯通商務樓北門44號辦公樓2層東段 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200610065122.4 【申請日】2006-03-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101038869A 【公開公告日】2007-09-19 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100468632C 【授權公告日】2009-03-11 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】H01L21/265; H01L21/425; C30B31/22; H01J37/317; H05H1/00; H05F3/04 【發明人】唐景庭; 彭立波; 謝均宇; 羅宏洋 【主權項內容】 1.水冷等離子淋浴器，其特征在于，包括下列部件：引出極板(1)，燈 絲裝夾機構(2)，燈絲(3)，送氣管路(4)，燈絲引線機構(5)，法蘭絕 緣墊(6)，法蘭(7)，導水長管(8)，水冷支架(9)，兩瓷絕緣柱子(10)， 屏蔽罩(11)，兩磁鐵(12)，兩磁鐵安裝板(13)； 所述的水冷支架(9)底部的通孔、燈絲裝夾機構(2)和引出極板(1) 共同圍成一個放電工作空間稱為放電弧室(14)； 所述的引出極板(1)，安裝在放電弧室的頂端面，正中有一圓孔，是 等離子淋浴器的等離子出口； 所述的燈絲裝夾機構(2)，裝夾有燈絲(3)、燈絲裝夾的夾桿和螺母 及絕緣塊，用于燈絲與水冷支架(9)之間的絕緣安裝； 所述的送氣管路(4)連接從法蘭(7)到水冷支架(9)的頂部的弧放 電通孔，用于從送氣系統往放電弧室(14)內送入工作氣體； 所述的燈絲引線機構(5)，一端與燈絲(3)相連，另一端穿過法蘭(7) 與燈絲電源相連； 所述的法蘭絕緣墊(6)是離子淋浴器的整體安裝絕緣墊，一面與法蘭 (7)接觸，另一面與設備安裝面接觸； 所述的法蘭(7)用于固定水冷支架(9)和燈絲引線機構(5)以及送 氣管路(4)； 所述的導水長管(8)通過卡套接頭與水冷支架(9)連接，將冷卻水 送到水冷支架(9)底部的放電弧室附近，以冷卻放電弧室腔體； 所述的水冷支架(9)頂部設計有弧放電通孔，在支架的長桿內開有從 外端一直到弧放電通孔附近的通水孔，用以導通冷卻水，燈絲裝夾機構(2)， 送氣管路(4)，燈絲引線機構(5)和法蘭(7)都裝配在其上； 所述的絕緣瓷柱子(10)用來在水冷支架(9)上絕緣并固定燈絲引線 機構(5)； 所述的屏蔽罩(11)兩側安裝有厚度方向磁化的永久磁鐵(12)； 所述的磁鐵(12)通過磁鐵安裝板(13)安裝在水冷支架(9)頂部弧 放電通孔的兩側。 【當前權利人】北京中科信電子裝備有限公司 【當前專利權人地址】北京市海淀區復興路乙20號匯通商務樓北門44號辦公樓2層東段 【專利權人類型】有限責任公司(法人獨資) 【統一社會信用代碼】911101127513429762 【被引證次數】4 【被自引次數】2.0 【被他引次數】2.0 【家族引證次數】3.0 【家族被引證次數】4
未經允許不得轉載：http://m.mhvdw.cn/1776167472.html
喜歡就贊一下
