【摘要】一種測量半導(dǎo)體器件歐姆接觸退化失效的芯片及測量方法，屬于半導(dǎo)體器件失效評估領(lǐng)域，它由在襯底上與前者結(jié)成一體的由半導(dǎo)體材料構(gòu)成的平臺，固接在平臺表面的一排電極，在平臺表面平行于電極固接有一排與電極一一對應(yīng)的輔助電極構(gòu)成，相鄰電極之間的
【摘要】 本實用新型具體涉及一種原料供應(yīng)瓶瓶蓋，包括瓶蓋上設(shè)有的氣壓接頭和原料輸出接頭，其特征在于在瓶蓋上設(shè)置一個原料回流接頭。本實用新型在原料供應(yīng)瓶瓶蓋上設(shè)置一個原料回流接頭，可通過泵即時將工作過程中推送出的化學(xué)原料回收再利用，不但降低化學(xué)原料的成本、廢料回收的費(fèi)用，還減少對環(huán)境的危害。 【專利類型】實用新型 【申請人】蔡明倫 【申請人類型】個人 【申請人地址】100025北京市朝陽區(qū)八里莊東里38樓2單元23號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】朝陽區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200620124566.6 【申請日】2006-07-03 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2935213Y 【公開公告日】2007-08-15 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN2935213Y 【授權(quán)公告日】2007-08-15 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號】G03F7/16; G03F7/20; H01L21/00 【發(fā)明人】蔡明倫 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種原料供應(yīng)瓶瓶蓋，包括瓶蓋上設(shè)有的氣壓接頭和原料輸出接頭，其特征在于在 瓶蓋上設(shè)置一個原料回流接頭。 【當(dāng)前權(quán)利人】蔡明倫 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市朝陽區(qū)八里莊東里38樓2單元23號 【被引證次數(shù)】1 【被他引次數(shù)】1.0 【家族被引證次數(shù)】1
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