【摘要】一種單粒子束刻蝕薄膜的單納米孔制作方法,屬于納米技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明將固體絕緣薄膜置于帶有粒子檢測裝置的一個(gè)可水平旋轉(zhuǎn)的載體上,用單粒子束刻蝕該薄膜,單粒子束入射角大于等于9.6°、小于等于90°,并且單粒子束在該薄膜底部、頂部、或二者
【摘要】 1.省略后視圖; 2.單元圖案四方連續(xù),無限定邊界; 3.請求保護(hù)的外觀設(shè)計(jì)包含色彩。 (來自 馬克數(shù)據(jù)網(wǎng)) 【專利類型】外觀設(shè)計(jì) 【申請人】上海嘉安床上用品有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201106上海市閔行區(qū)北翟路3386號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200630039938.0 【申請日】2006-08-24 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3672329D 【公開公告日】2007-07-25 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN3672329D 【授權(quán)公告日】2007-07-25 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】張瀅 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】無 【當(dāng)前權(quán)利人】上海嘉安床上用品有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)北翟路3386號 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司 【統(tǒng)一社會信用代碼】91310112X07673435N
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