【摘要】一種無線鼠標(biāo)，包括鼠標(biāo)本體以及接收器。鼠標(biāo)本體具有容置槽、第一控制單元、第一連接器以及解碼單元。容置槽于鼠標(biāo)本體的外表面上具有開口，第一連接器是設(shè)置于容置槽內(nèi)。第一連接器以及解碼單元分別電性耦接于第一控制單元。接收器具有第二控制單元
【摘要】 本發(fā)明提供一種三維集成電路的形成方法，包括：提供一第一晶圓，包括一硅層，位于該第一晶圓的頂部表面提供一第二晶圓，包括一氧化硅層，位于該第二晶圓的頂部表面，將該氧化硅層的頂部表面對應(yīng)至該硅層的頂部表面并施加一壓力，較佳施加一低壓力，將該第一及該第二晶圓連接，形成接觸插塞以電性連接該第一及該第二晶圓內(nèi)的集成電路。在將該第一及該第二晶圓連接之前，較佳以一化學(xué)機(jī)械研磨制程及等離子處理將該氧化硅層的表面整平。本發(fā)明所提供的三維集成電路的形成方法，利用硅原子與氧原子間的共價鍵，可在低壓及低溫下進(jìn)行接合制程，可保持低介電常數(shù)的多孔性及其介電常數(shù)，適用于形成具有低介電常數(shù)的三維集成電路。 數(shù)據(jù)由整理 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】中國臺灣新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)新竹市力行六路八號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請?zhí)枴緾N200610111819.0 【申請日】2006-08-23 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101043023A 【公開公告日】2007-09-26 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN100561709C 【授權(quán)公告日】2009-11-18 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號】H01L21/82; H01L21/768 【發(fā)明人】邱文智 【主權(quán)項內(nèi)容】1.一種三維集成電路的形成方法，其特征在于，所述三維集 成電路的形成方法包括： 提供一第一晶圓，包括一硅層位于該第一晶圓的頂部表面； 提供一第二晶圓，包括一氧化硅層位于該第二晶圓的頂部表 面； 將該氧化硅層的頂部表面對應(yīng)至該硅層的頂部表面，并施加 一壓力以接合該第一晶圓及該第二晶圓；以及 形成接觸插塞，用以連接該第一晶圓及該第二晶圓的集成電 路。 【當(dāng)前權(quán)利人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】中國臺灣新竹科學(xué)工業(yè)園區(qū)新竹市力行六路八號 【被引證次數(shù)】10 【被自引次數(shù)】1.0 【被他引次數(shù)】9.0 【家族引證次數(shù)】4.0 【家族被引證次數(shù)】35
未經(jīng)允許不得轉(zhuǎn)載：http://m.mhvdw.cn/1776861685.html
喜歡就贊一下
