【摘要】本發明一種以激光加工方式制作微溝槽的方法,包括下列步驟:制備包含有至少一透光區域的光罩,而該透光區域的輪廓是依據欲蝕刻的微溝槽而開設;將該光罩對準于一加工件的預設加工表面;以一激光產生器發射激光;以一激光調制裝置調制該激光束的照射面
【專利類型】外觀設計 【申請人】瑞格電子股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】臺灣省臺中市 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200630015529.7 【申請日】2006-05-10 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3623136D 【公開公告日】2007-03-21 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN3623136D 【授權公告日】2007-03-21 【授權公告年份】2007.0 【發明人】張崇敏 【主權項內容】無 【當前權利人】瑞格電子股份有限公司 【當前專利權人地址】臺灣省臺中市
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