【專利類型】外觀設(shè)計(jì)【申請(qǐng)人】明珊機(jī)械有限公司【申請(qǐng)人類型】企業(yè)【申請(qǐng)人地址】中國(guó)臺(tái)灣【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó)【申請(qǐng)人城市】臺(tái)灣省【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200630137454.X【申請(qǐng)日】2006-09-01【申請(qǐng)年份】2006【公開公告號(hào)】CN367
【摘要】 一種薄膜晶體管，其包括基板、底部層、銅柵極、柵絕緣層、溝道層與源極/漏極。底部層設(shè)置在基板上。銅柵極設(shè)置在底部層上。柵絕緣層覆蓋銅柵極與底部層。溝道層設(shè)置在柵絕緣層上，并位于銅柵極上方。源極/漏極設(shè)置在銅柵極上方的溝道層的兩側(cè)。本發(fā)明的薄膜晶體管通過(guò)底部層的設(shè)置，而解決銅柵極與基板之間附著力不佳的問(wèn)題。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】中華映管股份有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】臺(tái)灣省臺(tái)北市中山北路三段二十二號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】臺(tái)灣省 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610075717.8 【申請(qǐng)日】2006-04-18 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN101060137A 【公開公告日】2007-10-24 【公開公告年份】2007 【IPC分類號(hào)】H01L29/786; H01L21/336; H01L29/66; H01L21/02 【發(fā)明人】邱羨坤; 官永佳; 孫國(guó)升 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種薄膜晶體管，其特征是包括： 基板； 底部層，設(shè)置在該基板上； 銅柵極，設(shè)置在該底部層上； 柵絕緣層，覆蓋該銅柵極與該底部層； 溝道層，設(shè)置在該柵絕緣層上，并位于該銅柵極上方；以及 源極/漏極，設(shè)置在該銅柵極上方的該溝道層的兩側(cè)。。 【當(dāng)前權(quán)利人】中華映管股份有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】臺(tái)灣省臺(tái)北市中山北路三段二十二號(hào) 【被引證次數(shù)】6 【被他引次數(shù)】6.0 【家族被引證次數(shù)】6
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