【摘要】一種繼電器，設置于一以太網絡裝置中，并耦接于該以太網絡裝置的第一接收端以及第一傳送端。該繼電器包含有：一第一開關，耦接于該第一接收端及該第一傳送端之間；一開關控制單元，耦接于該第一開關的控制端，用來于該以太網絡裝置處于一第一狀態時，
【摘要】 本實用新型提出一種改進的半導體蝕刻機臺，其包含：一個真空腔體；一個位于上述真空腔體之內的載板，該載板上設有數個用以承載晶圓的容納位置；以及一個支撐上述載板的支撐軸；其特征在于上述載板之各容納位置，藉由一中心區域而互相連接，該中心區域之中心點至其邊緣其中一點的長度，小于該中心點至任一容納位置最遠邊緣點的長度。本實用新型其載板面積較現有技術為小，因此可提高RF功率的運用效率，亦可以功率耗損較低的方式達成較佳的蝕刻率。 【專利類型】實用新型 【申請人】聯萌科技股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】中國臺灣新竹縣竹北市光明六路47號9樓 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200620119834.5 【申請日】2006-08-02 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2935468Y 【公開公告日】2007-08-15 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN2935468Y 【授權公告日】2007-08-15 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】H01L21/3065; H01L21/683; C23F4/00; H01L21/02; H01L21/67 【發明人】劉相賢 【主權項內容】1.一種改進的半導體蝕刻機臺，包含： 一個真空腔體； 一個位于上述真空腔體之內的載板，該載板上設有數個用以承載 晶圓的容納位置；以及 一個支撐上述載板的支撐軸，其特征在于， 上述載板之各容納位置，藉由一中心區域而互相連接，該中心區 域之中心點至其邊緣其中一點的長度，小于該中心點至任一容納位置 最遠邊緣點的長度。 ： 【當前權利人】力鼎精密股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣苗栗縣竹南鎮科義街39號
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