【摘要】本實用新型是關于一種利用卡合方式加以組設的機殼卡合結構。本實用新型的機殼卡合結構，包括：一上蓋板，該上蓋板接近邊緣處設有一突垣，該左右二側突垣上分別延伸設有復數個卡扣鉤與一卡凸部；一接合體，該接合體的左右側板分別設有復數個與該卡扣鉤
【摘要】 一種改進的晶圓快速加熱機臺的傳動機構，主要包括一個旋轉動件、一承載盤及二個磁性流體軸封，其中：該承載盤的頂部朝內凹陷一預設深度的環形容置空間，容置空間內容設有一旋轉動件及二個軸封，其中第一軸封設置于該旋轉動件的外側，該第一軸封的內側恰與旋轉動件相配合，外側則與承載盤相連接，而設置在旋轉動件內側的第二軸封，外側與旋轉動件相配合，而內側則與承載盤相連接，借上述二個磁性流體軸封以阻隔軸封兩側空氣流通，進而傳遞旋轉運動至快速加熱機臺。本實用新型具有氣密性高，無泄漏，使用壽命長，無污染的優點。 【專利類型】實用新型 【申請人】志圣工業股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】中國臺灣 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200620165762.8 【申請日】2006-12-12 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200993210Y 【公開公告日】2007-12-19 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN200993210Y 【授權公告日】2007-12-19 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】F16H35/00; F16H1/06; F16H1/04 【發明人】林清萬; 呂邦超 【主權項內容】1、一種改進的晶圓快速加熱機臺的傳動機構，其特征在于，主要 包括一個旋轉動件、一承載盤及二個磁性流體軸封，其中： 該承載盤的頂部朝內凹陷一預設深度的環形容置空間，容置空間內 容設有一旋轉動件及二個軸封，其中第一軸封設置于該旋轉動件的外側， 該第一軸封的內側恰與旋轉動件相配合，外側則與承載盤相連接，而設 置在旋轉動件內側的第二軸封，外側與旋轉動件相配合，而內側則與承 載盤相連接。 【當前權利人】志圣工業股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣 【引證次數】1.0 【被引證次數】2 【他引次數】1.0 【被他引次數】2.0 【家族引證次數】1.0 【家族被引證次數】2
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