【摘要】本實用新型涉及一種空氣質量監測儀，特別是礦用多功能空氣質量監測儀。包括氣路部分和電路部分，氣路部分包括采樣泵和過濾器，電路部分包括紅外傳感器、電化學傳感器、信號收集轉換器、數據處理控制器和輸入輸出電路等。本實用新型采用紅外電化學傳感
【摘要】 本發明提供一種相變化存儲元件及其形成方法， 可降低相變化體積且具有較低驅動電流。該存儲元件的形成方 法包括，形成一底部絕緣層，包括一下電極接點；在該下電極 接點上形成一下電極；在該下電極上形成一抗反射層；圖案化 及蝕刻該抗反射層及該下電極，形成一具有側邊的下電極；以 及在該抗反射層上形成一相變化材料層，其中該相變化材料層 與該下電極側邊相接觸。該存儲元件的形成方法更包括形成一 上電極于該相變化材料層上，以及形成一上電極接點于該上電 極上。本發明可降低制程復雜度及成本，且可降低寫入電流。 【專利類型】發明申請 【申請人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】臺灣省新竹科學工業園區新竹市力行六路八號 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610001614.7 【申請日】2006-01-13 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1897320A 【公開公告日】2007-01-17 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100495756C 【授權公告日】2009-06-03 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】H01L45/00; H01L27/24; H01L21/82 【發明人】黃健朝 【主權項內容】1.一種相變化存儲元件，包括： 一底部絕緣層及一下電極接點，自該底部絕緣層的頂部表面 延伸至底部表面； 一下電極，置于至少部分該下電極接點以及部分該底部絕緣 層之上，且該下電極具有一側邊； 一絕緣層，置于該下電極之上； 一相變化材料層，置于該絕緣層上并延伸至該底部絕緣層上， 其中該相變化材料層接觸該下電極的側邊；以及 一上電極，置于該相變化材料層之上。 【當前權利人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【當前專利權人地址】臺灣省新竹科學工業園區新竹市力行六路八號 【被引證次數】12 【被他引次數】12.0 【家族引證次數】16.0 【家族被引證次數】97
未經允許不得轉載：http://m.mhvdw.cn/1776427358.html
喜歡就贊一下
