【摘要】本發(fā)明提供了一種信息方法，包括：步驟1、接收到終端發(fā)送的請求信息后，從訂購關(guān)系服務(wù)器中獲取與所述請求信息中的用戶標(biāo)識對應(yīng)的業(yè)務(wù)訂購信息并生成用戶簡檔；發(fā)送所述用戶簡檔與所述請求信息；根據(jù)所述請求信息中的條件進(jìn)行得到結(jié)果信息；按照預(yù)先
【摘要】 一種石墨清洗裝置，包括：一外殼，該外殼為一中空長方體結(jié)構(gòu)；一石墨基座支架位于外殼內(nèi)的下部；一石墨加熱器為一箱體結(jié)構(gòu)，該石墨加熱器位于石墨基座支架的上方；一保溫材料圍繞在石墨加熱器的四周；一上蓋位于外殼的上方；一感應(yīng)圈螺旋纏繞在外殼的外圍；在外殼的一側(cè)分別安裝有三路氣體入口；在外殼的另一側(cè)安裝有一個尾氣排放口；一控溫?zé)犭娕嘉挥谕鈿さ南虏颗c石墨基座支架連接。用該裝置清洗石墨基座時(shí)，不占用設(shè)備機(jī)時(shí)，提高設(shè)備的使用效率。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100083北京市海淀區(qū)清華東路甲35號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610064974.1 【申請日】2006-03-20 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101041892A 【公開公告日】2007-09-26 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN100491588C 【授權(quán)公告日】2009-05-27 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號】C23C16/00; C23C16/18; H01L21/205; H01L21/02 【發(fā)明人】焦春美; 劉祥林 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1、一種石墨清洗裝置，其特征在于，包括： 一外殼，該外殼為一中空長方體結(jié)構(gòu)； 一石墨基座支架，該石墨基座支架位于外殼內(nèi)的下部； 一石墨加熱器，該石墨加熱器為一箱體結(jié)構(gòu)，該石墨加熱 器位于石墨基座支架的上方； 一保溫材料，該保溫材料圍繞在石墨加熱器的四周； 一上蓋，該上蓋位于外殼的上方； 一感應(yīng)圈，該感應(yīng)圈螺旋纏繞在外殼的外圍； 在外殼的一側(cè)分別安裝有三路氣體入口； 在外殼的另一側(cè)安裝有一個尾氣排放口； 一控溫?zé)犭娕?，該控溫?zé)犭娕嘉挥谕鈿さ南虏颗c石墨基座 支架連接。 ： 【當(dāng)前權(quán)利人】中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)清華東路甲35號 【統(tǒng)一社會信用代碼】12100000400012385U 【被引證次數(shù)】8 【被他引次數(shù)】8.0 【家族引證次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】8
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