【摘要】本實用新型涉及一種用于束流取樣測量的固定 法拉第筒裝置，屬于半導體器件制造領域，通過本裝置對束流 的取樣分析，可得知終端的束流大小，控制晶片上精確的注入 劑量，是一種具有自冷卻效果的，針對靶室終端而設計的用于 束流取樣測量的固定法拉
【摘要】 本發明涉及一類用于羰基化反應制醋酸、醋酐的均相銠催化劑。該催化劑的配體為有機鋰鹽化合物；與銠形成含有O→Rh配位鍵形式的配合物。該配合物在催化甲醇羰基 化制備醋酸、醋酸甲酯羰基化制備醋酐的反應中顯示出良好的活性及選擇性。 微信 【專利類型】發明申請 【申請人】中國科學院化學研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100080北京市海淀區中關村北一街2號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200610073169.5 【申請日】2006-04-10 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101053841A 【公開公告日】2007-10-17 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100411738C 【授權公告日】2008-08-20 【授權公告年份】2008.0 【發明人】袁國卿; 閆芳; 錢慶利; 李峰波 【主權項內容】1.一種有機金屬鋰鹽為配體的銠催化劑，其結構特征在于催化劑的配 體為有機金屬鋰鹽與銠形成如下的配位結構： 其中X＝Cl3、或(OAc)2。 【當前權利人】中國科學院化學研究所 【當前專利權人地址】北京市海淀區中關村北一街2號 【統一社會信用代碼】12100000400012238A 【被引證次數】18 【被他引次數】18.0 【家族被引證次數】18
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