【摘要】在實施用于生長的活性P型III－V族氮化物層的 方法時，將引入基板并設置于反應室中，并將其加熱。接著， 將氮氣載氣以及反應化合物送入反應室中，反應化合物包括源 自第III族元素的化合物、源于氮的化合物、以及P型雜質。 借此產生化學反
【摘要】 本實用新型公開了一種離子注入機晶圓定位控 制系統，由晶圓、電機、光源、傳感器、反饋電路、編碼盤和 平臺組成，其中平臺與電機通過傳動軸連接，電機的下面連接 一編碼盤，編碼盤獲取電機運行的各個數據，晶圓置于平臺上， 并隨平臺一起轉動，光源置于傳感器的上方，向傳感器發生光 信號，反饋電路置于傳感器的下方，接受傳感器的光信號， 并將光信號轉變為電信號。該裝置結構簡單，操作方便，能夠 快速、準確的識別定位晶圓的切口，并且整個操作過程所用時 間很短。 【專利類型】實用新型 【申請人】北京中科信電子裝備有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】100036北京市海淀區復興路乙20號匯通商務樓北門44號辦公樓2層東段 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200620008179.6 【申請日】2006-03-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2891271Y 【公開公告日】2007-04-18 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN2891271Y 【授權公告日】2007-04-18 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】H01J37/317; H01L21/265; H01L21/425 【發明人】王迪平; 羅宏洋; 許波濤; 易文杰 【主權項內容】1、離子注入機晶圓定位控制系統，由晶圓、電機、光源、傳感 器、反饋電路、編碼盤和平臺組成，其特征在于平臺與電機通過傳動 軸連接，電機的下面連接一編碼盤，晶圓置于平臺上，并隨平臺一起 轉動，光源置于傳感器的上方，向傳感器發生光信號，反饋電路置于 傳感器的下方，接受傳感器的光信號，并將光信號轉變為電信號。 【當前權利人】北京中科信電子裝備有限公司 【當前專利權人地址】北京市海淀區復興路乙20號匯通商務樓北門44號辦公樓2層東段 【專利權人類型】有限責任公司(法人獨資) 【統一社會信用代碼】911101127513429762 【被引證次數】8 【被自引次數】1.0 【被他引次數】7.0 【家族被引證次數】8
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