【摘要】本實用新型是一種可調式圓錐臺，其在現有技術的圓錐臺上，進一步設置有調整球及復數螺孔，該調整球可滾動來調整蠟型角度及位置，而各螺孔內分別穿設有一調整柱，該調整柱表面具有螺紋，可與螺孔相互螺合并轉動調整其在螺孔中的相對位置，其中兩調整柱
【摘要】 本實用新型有關于一種曝光機的基板支撐結構，可避免曝光機上的基板承載平臺因為長期使用所累積的靜電，使基板因靜電效應而在取出時移位造成破片。本實用新型的曝光機的基板支撐結構，包括：一具有復數個支撐墊的平臺；一具有一驅動桿與復數個基板支撐頂針的基座，且基板支撐頂針用以支撐或承接基板；以及至少二個基板支撐擋板，其設置的距離小于基板的最大邊長；且基板支撐擋板高度小于基板支撐頂針的高度。當基板因平臺上的靜電效應發生下彎或變形，基板會與基板支撐擋板的一頂面接觸，減低基板因靜電效應發生的彎曲或變形。 【專利類型】實用新型 【申請人】廣輝電子股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】臺灣省桃園縣 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200620117021.2 【申請日】2006-06-02 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2919303Y 【公開公告日】2007-07-04 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN2919303Y 【授權公告日】2007-07-04 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】G03F7/20; G02F1/1333; G02F1/13 【發明人】陳昱東; 楊天宏 【主權項內容】權利要求書 1.一種曝光機的基板支撐結構，配合一基板，其特征在于，包括： 一具有復數個支撐墊的平臺，所述復數個支撐墊用以支撐或承接該配合 的基板，以使該基板與該平臺保持一間距； 一具有一驅動桿與復數個基板支撐頂針的基座，其中該驅動桿連結該平 臺，并驅動該平臺的升降，且所述復數個基板支撐頂針用以支撐或承接該基 板；以及 至少二個基板支撐檔板，設置于該基座上任二個該基板支撐頂針之間； 所述這些基板支撐檔板設置的距離小于該基板的最大邊長；且所述這些基板 支撐檔板高度小于所述復數個基板支撐頂針的高度。 【當前權利人】友達光電股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣新竹科學工業園區 【被引證次數】6 【被自引次數】1.0 【被他引次數】5.0 【家族被引證次數】6
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