【摘要】外科用吻合器可擊發狀態自動提示裝置,在器身后部殼體(1)內設有與釘砧拉桿(7)傳動連接的調節螺桿(2),與殼體軸向定位的尾翼旋鈕(5)套在調節螺桿外,其上的銷體(4)動配合地嵌入調節螺桿上的螺旋槽(8),所述尾翼旋鈕(5)后端面開有
【摘要】 一種可以修整拋光晶片平整度的拋光頭,其特征在于,包括:一晶片固定盤;一上拋光盤,該上拋光盤的斷面為倒T形;一氣囊,該氣囊固定在上拋光盤的底面,該氣囊可以充氣;一拋光墊,該拋光墊固定在氣囊的底面;欲將晶片拋光時,將氣囊充氣,將晶片固定在晶片固定盤上面,控制上拋光盤的轉動及上拋光盤的上下位移,由拋光墊對晶片拋光。 【專利類型】發明申請 【申請人】中國科學院半導體研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100083北京市海淀區清華東路甲35號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200610011400.8 【申請日】2006-03-01 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101028699A 【公開公告日】2007-09-05 【公開公告年份】2007 【發明人】朱蓉輝; 惠峰; 卜俊峰; 鄭紅軍; 趙冀 【主權項內容】1、一種可以修整拋光晶片平整度的拋光頭,其特征在 于,包括: 一晶片固定盤; 一上拋光盤,該上拋光盤的斷面為倒T形; 一氣囊,該氣囊固定在上拋光盤的底面,該氣囊可以充氣; 一拋光墊,該拋光墊固定在氣囊的底面; 欲將晶片拋光時,將氣囊充氣,將晶片固定在晶片固定盤 上面,控制上拋光盤的轉動及上拋光盤的上下位移,由拋光墊 對晶片拋光。 【當前權利人】中國科學院半導體研究所 【當前專利權人地址】北京市海淀區清華東路甲35號 【統一社會信用代碼】12100000400012385U 【被引證次數】TRUE 【家族被引證次數】TRUE
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