【專利類型】外觀設(shè)計(jì)【申請(qǐng)人】普立爾科技股份有限公司【申請(qǐng)人類型】企業(yè)【申請(qǐng)人地址】中國(guó)臺(tái)灣【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó)【申請(qǐng)人城市】臺(tái)灣省【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200630004515.5【申請(qǐng)日】2006-02-28【申請(qǐng)年份】2006【公開(kāi)公告號(hào)】CN
【摘要】 本發(fā)明是一種用于快速釋放殘余高壓和靜電的裝置，用于離子注入機(jī)中高壓倉(cāng)或高壓區(qū)機(jī)房架殘余高壓和靜電釋放，包括底板、壓塊、推塊、固定座、放電桿、盤(pán)頭螺釘、內(nèi)六角圓柱頭螺釘和氣缸組成。 【專利類型】發(fā)明申請(qǐng) 【申請(qǐng)人】北京中科信電子裝備有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】100036北京市海淀區(qū)復(fù)興路乙20號(hào)匯通商務(wù)樓北門(mén)44號(hào)辦公樓2層?xùn)|段 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200610065119.2 【申請(qǐng)日】2006-03-17 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN101038851A 【公開(kāi)公告日】2007-09-19 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN100524602C 【授權(quán)公告日】2009-08-05 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號(hào)】H01J37/317; H01L21/265; H01L21/425 【發(fā)明人】伍三忠; 彭立波; 孫雪平; 何科峰; 文超 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種用于離子注入機(jī)的高壓自動(dòng)放電裝置，其特征在于，包括底板 (1)，壓塊(2)，推塊(3)，固定座(4)，放電桿(5)，盤(pán)頭螺釘(6)， 盤(pán)頭螺釘(7)，內(nèi)六角圓柱頭螺釘(8)，氣缸(9)； 所述的底板(1)是將整個(gè)放電裝置固定在機(jī)房上，同時(shí)將壓塊(2) 和固定座(4)固定在底板(1)上；所述的壓塊(2)通過(guò)盤(pán)頭螺釘(6) 連接到底板(1)上，將放電桿(5)限制在底板(1)與壓塊(2)貼合面 的孔內(nèi)；所述的固定座(4)通過(guò)盤(pán)頭螺釘(7)連接在底板(1)上，固定 座(4)做成剖分式，通過(guò)內(nèi)六角圓柱頭螺釘(8)將固定座(4)的上剖分 塊和下剖分塊連接，中間留有圓孔，將氣缸(9)固定在圓孔內(nèi)；所述的推 塊(3)通過(guò)螺紋與氣缸(9)相連，當(dāng)氣缸(9)伸長(zhǎng)時(shí)，推動(dòng)放電桿(5) 轉(zhuǎn)動(dòng)。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京中科信電子裝備有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)復(fù)興路乙20號(hào)匯通商務(wù)樓北門(mén)44號(hào)辦公樓2層?xùn)|段 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(法人獨(dú)資) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】911101127513429762 【被引證次數(shù)】2 【被他引次數(shù)】2.0 【家族引證次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】2
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