【摘要】本實用新型是一種鼓椅鎖定環總成，尤其是一種在鼓椅座墊底座和腳座之間，藉由用以固定腳座桿的鎖定環以及座墊底座所設置的環體相互的配合，而可使得座墊得以穩固地設置在腳座桿之上，而不致因為時間的久遠而產生晃動的情形。【專利類型】實用新型【申
【摘要】 本發明公開了加工基于無機駐極體的MEMS微 發電機的方法。本發明加工方法，包括如下步驟：1)在無機襯 底表面光刻、濺射金屬電極，剝離得到下金屬電極；2)在無機 襯底表面沉積無機駐極體薄膜，經光刻腐蝕形成駐極體圖形； 3)在硅襯底上表面光刻，腐蝕出淺槽，并在硅表面注入硼；4) 將所述硅襯底與所述無機襯底表面牢固結合在一起，其中，硅 襯底帶有淺槽的表面與無機襯底帶有駐極體圖形的表面相對； 5)通過光刻并刻蝕上層硅襯底形成上極板，刻蝕位置與駐極體 圖形的位置相對應；6)在無機駐極體薄膜內注入電荷，得到所 述MEMS微發電機。本發明方法具有與集成電路工藝兼容性 好，可批量生產，應用前景廣闊。 【專利類型】發明申請 【申請人】北京大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】100871北京市海淀區頤和園路5號北京大學 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200610113570.7 【申請日】2006-09-30 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1953315A 【公開公告日】2007-04-25 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN1953315B 【授權公告日】2010-12-01 【授權公告年份】2010.0 【發明人】張錦文; 郝一龍; 金玉豐; 田大宇; 王穎; 陳治宇 【主權項內容】1、基于無機駐極體的MEMS微發電機的加工方法，包括如下步驟： 1)在無機襯底表面光刻、濺射金屬電極，剝離得到下金屬電極； 2)在無機襯底表面沉積無機駐極體薄膜，經光刻腐蝕形成駐極體圖形； 3)在硅襯底上表面光刻，腐蝕出淺槽，并在硅表面注入硼； 4)將所述硅襯底與所述無機襯底表面牢固結合在一起，其中，硅襯底帶有淺槽 的表面與無機襯底帶有駐極體圖形的表面相對； 5)通過光刻并刻蝕上層硅襯底形成上極板，刻蝕位置與駐極體圖形的位置相對 應； 6)在無機駐極體薄膜內注入電荷，得到所述MEMS微發電機。 【當前權利人】北京大學 【當前專利權人地址】北京市海淀區頤和園路5號北京大學 【專利權人類型】公立 【統一社會信用代碼】12100000400002259P 【被引證次數】6 【家族被引證次數】6
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