【摘要】本發明涉及由粗乙醇經電催化水合質子裝置制備綠色燃料二甲醚的新方法，該方法特征：將粗乙醇加入電催化水合質子裝置，在電極和自制的金屬－酸性雙功能催化劑的雙重作用下使乙醇分子重排轉化為二甲醚，然后從產物中收集二甲醚。本發明所用原料可生物質
【摘要】 本實用新型涉及一種離子注入機長壽命離子源的放電弧室結構，屬半導體器件制造領域，針對原有離子源弧室工作一段時間后因高溫熱膨脹效應及氣體腐蝕作用導致各金屬板間連接會產生移位變化問題，提出一種 長壽命離子源的放電弧室結構，其為一四方形整體結構，包括一弧室腔體壁包圍的弧室空腔，有一個反射極連接孔、一個間熱式陰極通過孔分別從兩側水平方向穿過弧室腔體壁與弧室空腔連通，二個固態原料蒸氣送氣孔和一個氣體原料送氣孔從縱向連通到弧室空腔內，弧室腔體壁四周還對稱設置有四個拉桿連接孔、四個弧室固定孔、二個引出板固定孔，采用整體結構設計緊湊簡單，不因熱變形和高溫氣體腐蝕作用而產生結構變化，保證離子源長期工作穩定可靠。 【專利類型】實用新型 【申請人】北京中科信電子裝備有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】100036北京市海淀區復興路乙20號匯通商務樓北門44號辦公樓2層東段 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200620113058.8 【申請日】2006-04-24 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2935461Y 【公開公告日】2007-08-15 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN2935461Y 【授權公告日】2007-08-15 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】H01J37/07; H01L21/265 【發明人】伍三忠; 戴習毛; 郭健輝; 彭立波 【主權項內容】1.一種長壽命離子源的放電弧室，其特征在于：放電弧室為一四方 形整體結構，包括一弧室腔體壁(1)包圍的弧室空腔(9)，設有一 個反射極連接孔(2)和一個間熱式陰極通過孔(6)分別從兩側水 平方向穿過弧室腔體壁(1)與弧室空腔(9)連通，二個固態原料 蒸氣送氣孔(5)和一個氣體原料送氣孔(8)從縱向連通到弧室空 腔(9)內，弧室腔體壁(1)四周還對稱設置有四個拉桿連接孔(3)、 四個弧室固定孔(4)、二個引出板固定孔(7)。 【當前權利人】北京中科信電子裝備有限公司 【當前專利權人地址】北京市海淀區復興路乙20號匯通商務樓北門44號辦公樓2層東段 【專利權人類型】有限責任公司(法人獨資) 【統一社會信用代碼】911101127513429762 【被引證次數】2 【被他引次數】2.0 【家族被引證次數】2
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