【摘要】本發(fā)明系一種微粒富集傳輸裝置，它是由富集腔和傳輸腔構成。所述富集腔由基板、腔蓋和壓電陶瓷組成；傳輸腔由基板、腔蓋和條形電極組成。壓電陶瓷固定在基板上，條形電極沉積在基板上，腔蓋與基體合在一起形成空腔，富集腔和傳輸腔是相通的，其基板和
【摘要】 本發(fā)明涉及一種高密度無液滴金屬等離子體的產生方法，該方法主要特點是在真空范圍為1×10－1－1×10－3Pa的條件下，將金屬蒸汽產額極高的高功率熱蒸發(fā)技術，如電阻加熱蒸發(fā)，高頻感應加熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)以及激光加熱蒸發(fā)等，和離化效率極高的大電流電弧放電相結合的一方法。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】北京長城鈦金公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】100095北京市海淀區(qū)北安河路7號北京市95－020信箱 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610065895.2 【申請日】2006-03-29 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101045983A 【公開公告日】2007-10-03 【公開公告年份】2007 【IPC分類號】C23C14/24 【發(fā)明人】王殿儒 【主權項內容】1.一種高密度無液滴金屬等離子體的產生方法，其特征是在真空范 圍為1×10-1-1×10-3Pa的條件下，把金屬蒸汽產額極高的高功 率熱蒸發(fā)技術和離化效率極高的大電流放電電弧相結合的方法。 【當前權利人】北京振濤國際鈦金技術有限公司 【當前專利權人地址】北京市海淀區(qū)豐慧中路7號新材料創(chuàng)業(yè)大廈6層622 【專利權人類型】聯(lián)營企業(yè) 【統(tǒng)一社會信用代碼】911101091019607054 【引證次數】7.0 【被引證次數】3 【他引次數】7.0 【被他引次數】3.0 【家族引證次數】7.0 【家族被引證次數】3
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