【專利類型】外觀設計【申請人】北京華旗資訊數碼科技有限公司【申請人類型】企業【申請人地址】100080北京市海淀區北四環西路58號理想國際大廈11層【申請人地區】中國【申請人城市】北京市【申請人區縣】海淀區【申請號】CN2006300244
【摘要】 一種超薄3自由度平面電機，屬于半導體裝備領域。為提供一種滿足光刻設備一面要求高精度一面要求高速度的微動工作臺執行元件，本發明公開了一種超薄3自由度平面電機，由線圈組件和永磁體組件組成，包含三組驅動單元，在單層上實現在平面內3個自由度，其中兩組驅動單元的驅動軸線平行但不重合，第三組驅動單元驅動軸線與前兩組的正交；每組驅動單元包含一個或多個線圈串聯、驅動力方向一致的驅動單元，每個驅動單元含有一個沿電機運動平面繞制的線圈和上下兩對永磁體。從整體性能而言，本發明所述平面電機具有結構緊湊、推力大、精度高以及可整體實現三自由度運動等優點。 微信 【專利類型】發明申請 【申請人】清華大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】100084北京市100084信箱82分箱清華大學專利辦公室 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN200610169826.6 【申請日】2006-12-29 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1996726A 【公開公告日】2007-07-11 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100553082C 【授權公告日】2009-10-21 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】H02K41/02; H02K57/00 【發明人】朱煜; 汪勁松; 張鳴; 尹文生; 李廣; 段廣洪; 徐登峰; 程嘉; 曹家勇 【主權項內容】1.一種超薄3自由度平面電機，所述平面電機由線圈組件和永磁體組件組成，其特征在 于：所述平面電機包含三組驅動單元，在單層上實現在平面內3個自由度，其中兩組驅動單 元的驅動軸線平行但不重合，第三組驅動單元驅動軸線與前兩組的正交；每組驅動單元包含 一個或多個線圈串聯、驅動力方向一致的驅動單元，每個驅動單元含有一個沿電機運動平面 繞制的線圈和上下兩對永磁體。 【當前權利人】清華大學; 北京華卓精科科技股份有限公司 【當前專利權人地址】北京市海淀區清華園; 北京市大興區北京經濟技術開發區科創十街19號院2號樓2層(北京自貿試驗區高端產業片區亦莊組團) 【專利權人類型】公立 【統一社會信用代碼】12100000400000624D 【被引證次數】12 【被自引次數】6.0 【被他引次數】6.0 【家族引證次數】3.0 【家族被引證次數】12
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