【摘要】一種110kV及以上模塊化變電站，包括高壓開關(guān)母模塊、主變壓器母模塊、中壓開關(guān)母模塊、綜合自動(dòng)化母模塊、中壓配套設(shè)備母模塊，各母模塊均為各功能單元子模塊或各功能元器件的組合體，各功能單元子模塊又是各功能元器件的組合體，各母模塊采用全
【摘要】 本實(shí)用新型涉及一種由編碼電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精確自 動(dòng)升降裝置，屬于半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域，該自動(dòng)升降裝置能夠 使晶片在進(jìn)入靶室的過(guò)程中處于全自動(dòng)化操作狀態(tài)，達(dá)到檢測(cè) 晶片數(shù)量，配合機(jī)械手自動(dòng)裝卸晶片的裝置，一導(dǎo)桿通過(guò)套裝 在導(dǎo)桿上的端板固定在基板上，一編碼電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸器與絲桿 一端相連、并通過(guò)基座固定連接在基板的另一側(cè)，所述絲桿另 一端通過(guò)與其螺紋配合的絲桿螺母連接在導(dǎo)桿支撐座上，所述 導(dǎo)桿支撐座上還平行固定連接有導(dǎo)桿，導(dǎo)桿能夠?qū)崿F(xiàn)精確的上 下位移，運(yùn)動(dòng)精度在±0.1mm之內(nèi)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)、可 靠性高。 【專利類型】實(shí)用新型 【申請(qǐng)人】北京中科信電子裝備有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】100036北京市海淀區(qū)復(fù)興路乙20號(hào)匯通商務(wù)樓北門44號(hào)辦公樓2層?xùn)|段 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】北京市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】海淀區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200620008178.1 【申請(qǐng)日】2006-03-17 【申請(qǐng)年份】2006 【公開公告號(hào)】CN2890011Y 【公開公告日】2007-04-18 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN2890011Y 【授權(quán)公告日】2007-04-18 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號(hào)】B66F11/00; H01L21/265 【發(fā)明人】易文杰; 彭立波; 劉仁杰; 伍三忠 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】1.一種編碼電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精確自動(dòng)升降裝置，其特征在于：導(dǎo)桿(2) 通過(guò)套裝在所述導(dǎo)桿(2)上的端板(5)固定在基板(3)上，一編碼電機(jī)(11) 通過(guò)聯(lián)軸器(10)與絲桿(7)一端相連，并通過(guò)基座(9)固定連接在基板(3) 的另一側(cè)，所述絲桿(7)另一端通過(guò)與其螺紋配合的絲桿螺母(6)連接在 導(dǎo)桿支撐座(1)上，所述導(dǎo)桿支撐座(1)上還平行固定連接有導(dǎo)桿(2)。 【當(dāng)前權(quán)利人】北京中科信電子裝備有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】北京市海淀區(qū)復(fù)興路乙20號(hào)匯通商務(wù)樓北門44號(hào)辦公樓2層?xùn)|段 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(法人獨(dú)資) 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】911101127513429762 【被引證次數(shù)】3 【被他引次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】3
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