【摘要】可熱回收的管式冷凝器，涉及空調制冷技術領域。本實用新型包括殼體和置于殼體內腔中的數多根散熱銅管。其結構特點是，所述殼體內水平放置隔板將殼體內腔分為上、下兩部分，兩部分散熱銅管串聯成制冷劑回路并使各水路分開。同現有技術相比，本實用新型
【摘要】 一種X射線衍射光學元件—高分辨率自支撐全鏤空透射光柵的制作方法，步驟如下：1.在自支撐X射線掩模襯基上淀積薄鉻薄金層；2.在薄鉻薄金層表面上甩電子束光刻膠，得到光柵圖形；3.所得片子放在電鍍液中電鍍出X射線掩模吸收體金圖形；4.所得片子去除電子束光刻膠；5.再去除電子束光刻膠圖形下的薄鉻薄金層；6.玻璃上旋涂聚酰亞胺，并固化；7.在聚酰亞胺表面上淀積金；8.在金表面旋涂X射線光刻膠，完成的高分辨率光柵X射線掩模進行X射線光刻并顯影；9.對X射線光刻后的片子進行金去除；10.去除聚酰亞胺；11.去除X射線光刻膠；12.背面腐蝕透玻璃；完成高分辨率自支撐全鏤空透射光柵的制作。 【專利類型】發明申請 【申請人】中國科學院微電子研究所 【申請人類型】科研單位 【申請人地址】100029北京市朝陽區北土城西路3號 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】朝陽區 【申請號】CN200610003067.6 【申請日】2006-02-08 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101017214A 【公開公告日】2007-08-15 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100501461C 【授權公告日】2009-06-17 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】G02B5/18; G03F7/20; G03F7/26 【發明人】謝常青; 葉甜春 【主權項內容】1、一種X射線衍射光學元件-高分辨率自支撐全鏤空透射光柵的 制作方法，這種X射線衍射光學元件主要用于X射線波段的譜學診斷，它 的特點采用電子束光刻技術手段制作一塊X射線掩模，然后并行的以X 射線光刻為手段進行復制，從而制作出自支撐全鏤空透射光柵，其步驟如 下： 步驟1、在自支撐X射線掩模襯基上淀積薄鉻薄金層，作為電鍍襯 基； 步驟2、在薄鉻薄金層表面上甩電子束光刻膠，并進行電子束光刻， 得到高分辨率光柵圖形，形成電鍍模子； 步驟3、將步驟2所得片子放在金電鍍液中電鍍出X射線掩模吸收體 金圖形； 步驟4、對步驟3所得片子去除電子束光刻膠； 步驟5、再去除電子束光刻膠圖形下的薄鉻薄金層，完成高分辨率 光柵X射線掩模的制作； 步驟6、玻璃上旋涂聚酰亞胺，并固化； 步驟7、在聚酰亞胺表面上淀積金； 步驟8、在金表面旋涂X射線光刻膠，用步驟5完成的高分辨率光 柵X射線掩模進行X射線光刻并顯影； 步驟9、對X射線光刻后的片子進行金去除； 步驟10、去除聚酰亞胺； 步驟11、去除X射線光刻膠； 步驟12、背面腐蝕透玻璃；完成高分辨率自支撐全鏤空透射光柵的 制作。 【當前權利人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司; 中國科學院微電子研究所 【當前專利權人地址】上海市浦東新區張江路18號; 北京市朝陽區北土城西路3號中國科學院微電子研究所 【統一社會信用代碼】12100000400834434U 【被引證次數】15 【被自引次數】7.0 【被他引次數】8.0 【家族引證次數】2.0 【家族被引證次數】17
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