【摘要】本發明公開了一種控制離子注入的方法和裝置，該裝置包括產生束流裝置、晶片、法拉第杯、晶片驅動器、控制器、真空系統裝置、真空腔體，其中產生束流裝置產生一個直線束流；該束流垂直注入到晶片當中；法拉第杯檢測束流值，輸出一個反映束流大小的信號
【摘要】 請求保護的外觀設計包含色彩。 【專利類型】外觀設計 【申請人】北京五谷道場食品技術開發有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】102400北京市房山區琉璃河鎮興禮村西 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】房山區 【申請號】CN200630004682.X 【申請日】2006-03-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3597434D 【公開公告日】2007-01-10 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN3597434D 【授權公告日】2007-01-10 【授權公告年份】2007.0 【發明人】王中旺 【主權項內容】無 【當前權利人】北京五谷道場食品技術開發有限公司 【當前專利權人地址】北京市房山區琉璃河鎮興禮村西 【專利權人類型】有限責任公司(法人獨資) 【統一社會信用代碼】91110000767511893H
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