【摘要】1.請求保護(hù)的外觀設(shè)計包含色彩。 2.本外觀設(shè)計產(chǎn)品為平面產(chǎn)品，省略其他視圖。 3.單元圖案四方連續(xù)，無限定邊界。。來自馬-克-數(shù)-據(jù)-官網(wǎng)【專利類型】外觀設(shè)計【申請人】上海題橋紡織染紗有限公司【申請人類型】企業(yè)【申請人地址】201
【摘要】 本發(fā)明提供了一種用于光學(xué)顯微鏡下的標(biāo)記工具，包括滑動導(dǎo)軌、一對導(dǎo)向桿、油印頭及卡套，實(shí)現(xiàn)了快速、準(zhǔn)確、方便地標(biāo)記，避免了晶圓代工廠中對晶圓進(jìn)行標(biāo)記是人工操作的所帶來的諸多問題。 來自：馬 克 團(tuán) 隊 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】201203上海市浦東新區(qū)張江路18號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區(qū)縣】浦東新區(qū) 【申請?zhí)枴緾N200610027450.5 【申請日】2006-06-08 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101086950A 【公開公告日】2007-12-12 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN100466165C 【授權(quán)公告日】2009-03-04 【授權(quán)公告年份】2009.0 【IPC分類號】H01L21/00; B41K3/00 【發(fā)明人】季春葵; 張啟華; 董偉淳; 梁山安 【主權(quán)項內(nèi)容】1.一種用于光學(xué)顯微鏡下的標(biāo)記工具，包括一滑動導(dǎo)軌、放置在 滑動導(dǎo)軌上的一對導(dǎo)向桿、以及導(dǎo)向桿上可沿導(dǎo)向桿移動的標(biāo)記件，其 特征在于整套工具的高度小于顯微鏡鏡頭到晶圓的高度。 【當(dāng)前權(quán)利人】中芯國際集成電路制造(上海)有限公司; 中芯國際集成電路制造(北京)有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市浦東新區(qū)張江路18號; 北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)文昌大道18號 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司(外國法人獨(dú)資) 【統(tǒng)一社會信用代碼】91310115710939629R 【被引證次數(shù)】3 【被他引次數(shù)】3.0 【家族引證次數(shù)】5.0 【家族被引證次數(shù)】3
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