【摘要】本發明涉及一種簡支梁型微電子機械系統探卡 及其制備方法，采用UV－LIGA多次光刻、電鍍工藝在基片上 制備彈性金屬探針，在探針結構上采用簡支梁代替目前的懸臂 梁，以承受和產生更大的刺穿氧化膜應力，并通過設計簡支梁 的厚度來調節探針的
【摘要】 省略其它視圖。 【專利類型】外觀設計 【申請人】杭州室內裝飾用品廠 【申請人類型】企業 【申請人地址】310002浙江省杭州市中山南路高士坊巷29號 【申請人地區】中國 【申請人城市】杭州市 【申請人區縣】上城區 【申請號】CN91300436.7 【申請日】1991-03-04 【申請年份】1991 【公開公告號】CN3010406S 【公開公告日】1991-08-21 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN3010406S 【授權公告日】1991-08-21 【授權公告年份】1991.0 【發明人】李為源; 沈曉帆; 李松濤 【主權項內容】無 【當前權利人】杭州室內裝飾用品廠 【當前專利權人地址】浙江省杭州市中山南路高士坊巷29號
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