【專利類型】外觀設計【申請人】上海樂美文具有限公司【申請人類型】企業【申請人地址】201703上海市滬青平公路2709號【申請人地區】中國【申請人城市】上海市【申請人區縣】閔行區【申請號】CN200630037357.3【申請日】2006-
【摘要】 本發明涉及一種簡支梁型微電子機械系統探卡 及其制備方法，采用UV－LIGA多次光刻、電鍍工藝在基片上 制備彈性金屬探針，在探針結構上采用簡支梁代替目前的懸臂 梁，以承受和產生更大的刺穿氧化膜應力，并通過設計簡支梁 的厚度來調節探針的位移。本發明的探卡由按照芯片引腳分布 而排布的簡支梁陣列實現，探針在簡支梁的中間，并保證針尖 的位置與相應的芯片引腳位置一致。簡支梁的底端為電鍍的金 屬引線，引線從簡支梁底端向探針外圍四周延伸，通過點焊連 接到對應的印刷電路 板上，從而連通從探針到測試機臺的信號電路。本發明工藝簡 單，成品率高，能很好的控制探針形狀尺寸，套刻精度高，適 于大規模生產。 來源：百度搜索馬克數據網 【專利類型】發明申請 【申請人】上海交通大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】200240上海市閔行區東川路800號 【申請人地區】中國 【申請人城市】上海市 【申請人區縣】閔行區 【申請號】CN200610117283.3 【申請日】2006-10-19 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1936593A 【公開公告日】2007-03-28 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100445750C 【授權公告日】2008-12-24 【授權公告年份】2008.0 【發明人】靖向萌; 陳迪; 張曄; 黃闖; 陳翔; 劉景全 【主權項內容】1、一種簡支梁型微電子機械系統探卡，包括基片(1)、金屬引線(2)和 探針(4)，其特征在于還包括基片上的簡支梁(3)，所述簡支梁(3)按照測試 芯片引腳的分布位置而陣列排布，探針(4)位于簡支梁(3)的中間上端，探 針(4)針尖的位置與相應的芯片引腳位置一致，簡支梁(3)底端的金屬引線 (2)通過點焊連接到插在測試機臺接口的印刷電路板，從而連通從探針(4) 到測試機臺的信號電路。 【當前權利人】上海交通大學 【當前專利權人地址】上海市閔行區東川路800號 【統一社會信用代碼】1210000042500615X0 【被引證次數】11 【被自引次數】4.0 【家族被引證次數】11
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