【摘要】本發(fā)明涉及一種簡(jiǎn)支梁型微電子機(jī)械系統(tǒng)探卡 及其制備方法，采用UV－LIGA多次光刻、電鍍工藝在基片上 制備彈性金屬探針，在探針結(jié)構(gòu)上采用簡(jiǎn)支梁代替目前的懸臂 梁，以承受和產(chǎn)生更大的刺穿氧化膜應(yīng)力，并通過(guò)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)支梁 的厚度來(lái)調(diào)節(jié)探針的
【摘要】 1.薄型產(chǎn)品，故省略其它視圖。 2.請(qǐng)求保護(hù)的外觀設(shè)計(jì)包含色彩。 【專利類型】外觀設(shè)計(jì) 【申請(qǐng)人】上海仙裳工貿(mào)有限公司 【申請(qǐng)人類型】企業(yè) 【申請(qǐng)人地址】201108上海市閔行區(qū)銀都路2988號(hào) 【申請(qǐng)人地區(qū)】中國(guó) 【申請(qǐng)人城市】上海市 【申請(qǐng)人區(qū)縣】閔行區(qū) 【申請(qǐng)?zhí)枴緾N200630047297.3 【申請(qǐng)日】2006-12-12 【申請(qǐng)年份】2006 【公開(kāi)公告號(hào)】CN300697627D 【公開(kāi)公告日】2007-10-10 【公開(kāi)公告年份】2007 【授權(quán)公告號(hào)】CN300697627D 【授權(quán)公告日】2007-10-10 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】金曉紅 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】無(wú) 【當(dāng)前權(quán)利人】上海仙裳工貿(mào)有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】上海市閔行區(qū)銀都路2988號(hào) 【專利權(quán)人類型】有限責(zé)任公司 【統(tǒng)一社會(huì)信用代碼】91310112703336635E
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