【摘要】本發明是一種制備高蒸汽壓組分的III-V族半導體化合物薄膜的射頻濺射方法。為使濺射膜有較好化學計量比，本發明采用合成III-V族化合物塊錠或碎料和相應的高蒸汽壓五族元素材料一起作為濺射靶并置于濺射室下方。本發明方法可在不同的襯底溫度
【摘要】 本發明豎直—水平正交式激光散斑照相方法及 裝置，其方法是加熱物體周圍流體類似熱透鏡，以激 光散斑照相技術可將由于熱透鏡效應所產生的光線 偏折量轉變成相應的散斑位移。該裝置包括激光器， 激光紋影—主觀散斑照相水平光路和毛玻璃后置的 主觀散斑照相的豎直光路。該二光路是正交式的。 可測得加熱物體三維溫度場的熱流分布。為電子器 件冷卻技術研究，提供了有效的手段，對提高電子器 件壽命，穩定性具有十分重要的價值。 【專利類型】發明申請 【申請人】清華大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】100084北京市海淀區清華園 【申請人地區】中國 【申請人城市】北京市 【申請人區縣】海淀區 【申請號】CN91103532.X 【申請日】1991-05-31 【申請年份】1991 【公開公告號】CN1055818A 【公開公告日】1991-10-30 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN1030414C 【授權公告日】1995-11-29 【授權公告年份】1995.0 【IPC分類號】G01N21/39; G01K17/06; G01K17/00; G01N21/31; G01N21/41; G01N21/45 【發明人】宋耀祖; 劉志宏; 過增元 【主權項內容】1、一種豎直-水平正交式激光散班照相方法，其特征在于所說的方法是在加熱物體周圍流體呈現一個不均勻溫度場(稱為熱透鏡)，從而產生一個不均勻的折射率場(即熱透鏡效應)，以激光散班照明技術可將由熱透鏡效應所產生的光線偏折量轉變成相應的散班位移，形成散班圖(12)，根據散班位移與熱流量的關系，確定加熱物體壁面的對流熱流分布。 【當前權利人】清華大學 【當前專利權人地址】北京市海淀區清華園 【專利權人類型】公立 【統一社會信用代碼】12100000400000624D 【被引證次數】11.0 【被自引次數】2.0 【被他引次數】9.0 【家族被引證次數】11.0
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