【摘要】大面積紫外光刻(曝光)機的光學系統(tǒng)。本實用新型涉及一種紫外光刻(曝光)設備，特別 是用于接觸接近式大面積紫外光刻(曝光)機的光 學系統(tǒng)。由于采用了可將輻照面內(nèi)輻照不均勻度與 曝光過程中產(chǎn)生的曝光不均勻度互相補償?shù)呐紨?shù)光 通道光學積分
【摘要】 一種用了煙囪的煙塵過濾裝置，其結構特征是在 煙囪的末端承接有一底部開有排水口、環(huán)側設有噴槍 的輸氣管，輸氣管內(nèi)部固定有過濾網(wǎng)，輸氣管內(nèi)外環(huán) 壁間有一上下連通的空間，輸氣管內(nèi)環(huán)壁有連通于上 述空間的傾斜板，此外也可在煙囪的末端設置一防止 污水倒流的止逆裝置，或在排水口與噴槍之間裝設一 個可濾清污水的過濾裝置，從而順利地達到?jīng)_洗、冷 卻熱氣及過濾網(wǎng)過濾、抽吸、過濾污水的目的，減小自 然污染。 【專利類型】實用新型 【申請人】麥松泉; 麥恭銘 【申請人類型】個人 【申請人地址】臺灣省高雄市左管大路87號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請?zhí)枴緾N90208708.8 【申請日】1990-06-20 【申請年份】1990 【公開公告號】CN2074202U 【公開公告日】1991-04-03 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN2074202U 【授權公告日】1991-04-03 【授權公告年份】1991.0 【IPC分類號】B01D36/02; B01D36/00 【發(fā)明人】麥松泉; 麥恭銘 【主權項內(nèi)容】1、一種煙囪用煙塵過濾裝置，主要是在排氣管末端接設一底部設有排水口的輸氣管，其特征在于：該輸氣管末端設有一可借心軸帶動葉片旋轉而產(chǎn)生一抽吸力的電機，輸氣管在其末端并有可供排放煙塵的排氣環(huán)，在排氣環(huán)末端與電機之間設有一可阻擋煙氣進入電機內(nèi)的擋板，在輸氣管環(huán)側斜向穿置有可噴射沖洗液體的噴槍，在輸氣管內(nèi)部設有過濾網(wǎng)，在排氣環(huán)外側設有濾網(wǎng)。 【當前權利人】麥松泉; 麥恭銘 【當前專利權人地址】臺灣省高雄市左管大路87號; 【被引證次數(shù)】6.0 【被他引次數(shù)】6.0 【家族被引證次數(shù)】6.0
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