【摘要】一種柴油機節油消煙帶鎖裝置由調速臂[2]、調 速彈簧[5]、調節螺釘[7]梗拉桿[8]、調速連接桿 [12]、調速把柄[25]、鎖體[33]、調速杠桿[34]、等所 組成，其特征是：在柴油機齒輪室蓋上，泵油板座與檢 查孔中間鉆孔裝上
【摘要】 一種適用于開管鎵擴散的石英管制造工藝，利用Si3N4膜可屏蔽鎵元素的原理，在CVD爐中通入硅烷和氨氣。使之發生熱分解反應，在普通石英擴散管壁上生成一層Si3N4薄膜。使用該類石英管擴鎵生產的半導體器件在穩定擴散參數條件下，電參數的一致性和重復性好，該類石英管的壽命比普通石英管大大延長。 【專利類型】發明授權 【申請人】山東師范大學 【申請人類型】學校 【申請人地址】山東省濟南市文化東路 【申請人地區】中國 【申請人城市】濟南市 【申請人區縣】歷下區 【申請號】CN87101336.3 【申請日】1987-05-13 【申請年份】1987 【公開公告號】CN1014701B 【公開公告日】1991-11-13 【公開公告年份】1991 【授權公告號】CN1014701B 【授權公告日】1991-11-13 【授權公告年份】1991.0 【IPC分類號】C03C17/30; H01L21/02; C03B20/00; C03C17/28; H01L21/34 【發明人】田淑芬; 薛成山 【主權項內容】1.一種適用于開管鎵擴散的石英管制造工藝， 將石英管用常規清洗洗干凈后。烘干，投入CVD 爐中。其特征在于，CVD爐溫調在400℃-1300℃ 之間，在此溫度段內任取一定溫度定好。恒溫10 分鐘后，向石英管中通入硅烷和氨氣在N2或H2 的負載氣氛中進行熱分解生成一層厚度為 0.1-0.5μm的Si3N4層。 【當前權利人】山東師范大學 【當前專利權人地址】山東省濟南市文化東路 【專利權人類型】公立 【統一社會信用代碼】1237000049557382XT 【家族被引證次數】1.0
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