【摘要】1.請求保護的外觀設計包含色彩。 2.省略其它視圖。【專利類型】外觀設計【申請人】蔡洪海【申請人類型】個人【申請人地址】132001吉林省吉林市昌邑區解放大路靜苑小區5號【申請人地區】中國【申請人城市】吉林市【申請人區縣】昌邑區【申
【摘要】 本發明提供一種改變晶圓在制品制程流的方法。設定欲觸發一制程流更換操作的一第一機臺，其中該第一機臺是設置于一第一制程流。在上述機臺設定一預約切換操作。接收一切換制程流的命令。判斷一晶圓在制品為正在執行或正在等候的狀態。若上述晶圓在制品為正在等候的狀態，則直接將上述該晶圓在制品自上述第一制程流的第一機臺更換到一第二制程流的一第二機臺。若上述晶圓在制品為正在執行的狀態，則觸發上述預約切換操作，并且根據上述預約切換操作將上述晶圓在制品自上述第一制程流的上述第一機臺更換到上述第二制程流的上述第二機臺。本發明使得晶圓在制品可任意由一制程流更換至另一制程流的對應機臺。。 【專利類型】發明申請 【申請人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】中國臺灣新竹科學工業園區新竹市力行六路八號 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610083026.2 【申請日】2006-05-29 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101082815A 【公開公告日】2007-12-05 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100530006C 【授權公告日】2009-08-19 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】G05B19/02; H01L21/00 【發明人】林志聰; 徐詩凱 【主權項內容】1.一種改變晶圓在制品的制程流的方法，其特征在于，該改 變晶圓在制品的制程流的方法包括下列步驟： 于一第一制程流的一第一機臺的結束點設定一制程流更換操 作的觸發點； 在上述機臺設定一預約切換操作； 接收一切換制程流的命令； 判斷一晶圓在制品為正在執行或正在等候的狀態； 若上述晶圓在制品為正在等候的狀態，則直接將上述該晶圓 在制品自上述第一制程流的第一機臺更換到一第二制程流的一第 二機臺； 若上述晶圓在制品為正在執行的狀態，則觸發上述預約切換 操作；以及 根據上述預約切換操作將上述晶圓在制品自上述第一制程流 的上述第一機臺更換到上述第二制程流的上述第二機臺。 【當前權利人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣新竹科學工業園區新竹市力行六路八號 【家族引證次數】4.0
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