【摘要】本實用新型是一種可提示可提示鑰匙開鎖的雙功掛鎖，是一鎖本體與一蓋體的對接結合，組裝有一掣動組、一ㄩ形掛鉤、一鎖心組；掣動組正確對號時的掣桿允許軸向運動，可利用ㄩ形掛鉤的開鎖上拉動作連動所述的框座上推提示件，經由擺臂擋止提示件回位，完
【摘要】 本發(fā)明是有關于一種浸潤式(Immersion)微影系統(tǒng)。其至少包括：一晶圓吸附器，用以容納并以浸潤式微影來處理位于其上的一晶圓；至少一密封環(huán)，用以密封該晶圓于該晶圓吸附器上；一密封環(huán)承載器，用以裝載該密封環(huán)至該晶圓吸附器，或自該晶圓吸附器卸下該密封環(huán)；以及一真空模組，用以吸附該密封環(huán)至該晶圓和該晶圓吸附器。借由此些密封環(huán)的排列結構，浸潤式微影系統(tǒng)可提供較佳的密封效果，以處理位于晶圓吸附器(Wafer Chuck)上的晶圓。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】中國臺灣新竹市新竹科學工業(yè)園區(qū)力行六路8號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請?zhí)枴緾N200610161883.X 【申請日】2006-12-05 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1979343A 【公開公告日】2007-06-13 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100489666C 【授權公告日】2009-05-20 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】G03F7/20; H01L21/027; H01L21/02 【發(fā)明人】林本堅; 高蔡勝; 陳俊光; 劉如淦; 游信勝; 施仁杰 【主權項內容】1、一種浸潤式微影系統(tǒng)，其特征在于其至少包括： 一晶圓吸附器，用以容納并以浸潤式微影來處理位于其上的一晶圓； 至少一密封環(huán)，用以密封該晶圓于該晶圓吸附器上； 一密封環(huán)承載器，用以裝載該密封環(huán)至該晶圓吸附器，或自該晶圓吸附 器卸下該密封環(huán)；以及 一真空模組，用以吸附該密封環(huán)至該晶圓和該晶圓吸附器。 【當前權利人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣新竹市新竹科學工業(yè)園區(qū)力行六路8號 【被引證次數】1 【被自引次數】1.0 【家族引證次數】13.0 【家族被引證次數】17
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