【摘要】本發明有關一種用于印刷電路板電鍍通孔的塞孔油墨組合物,是包括含有選自由(甲代)丙烯酸烷酯系單體、苯乙烯系、含環氧基的(甲代)丙烯酸酯的至少一種單體構成主鏈的樹脂、感光性單體、光聚合起始劑、無機填充劑以及流變助劑所構成。本發明的用于印
【摘要】 本發明公開了一種具有調整氣流路徑功能的涂 布干燥裝置,包括:一反應室;一真空系統,與該反應室連通, 用以抽除該反應室內的氣體;一承載平臺,設置于該反應室內, 該承載平臺包含有一承載面,用以承載一基板;以及一擋板結 構,設置于該承載平臺的該承載面上并環繞該基板,且該擋板 結構的高度大于該基板的厚度。據此,該真空系統抽除該反應 室內的氣體時,可均勻地抽除該光致抗蝕劑層內的溶劑。 【專利類型】發明申請 【申請人】友達光電股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】臺灣省新竹市 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610137590.8 【申請日】2006-10-26 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1945437A 【公開公告日】2007-04-11 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100578360C 【授權公告日】2010-01-06 【授權公告年份】2010.0 【IPC分類號】G03F7/16; G02B5/23; G02B5/22 【發明人】陳嘉欣; 林彥伯; 林信志 【主權項內容】1.一種具有調整氣流路徑功能的涂布干燥裝置,其特征在于,包括:一 反應室;一真空系統,與該反應室連通,用以抽除該反應室內的氣體;一承 載平臺,設置于該反應室內,該承載平臺包含有一承載面,用以承載一基板; 以及一擋板結構,設置于該承載平臺的該承載面上并環繞該基板,且該擋板 結構的高度大于該基板的厚度。 【當前權利人】友達光電股份有限公司 【當前專利權人地址】臺灣省新竹市 【被引證次數】8 【被他引次數】8.0 【家族引證次數】7.0 【家族被引證次數】8
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