【摘要】本實用新型提供一種組合式工具車的改進結構，其主要是由一頂板、一底板及左、右二側(cè)板及多數(shù)個活動輪所組成，其特征在于：頂板及底板的一面沿著其外緣設有一凸緣，該多數(shù)個活動輪則是設置于底板的底面，而側(cè)板的斷面是呈ㄇ形，該左、右二側(cè)板上與頂板
【摘要】 一種旋涂系統(tǒng)，包括一旋涂機、一第一管線、一 導出裝置、一第一回收管線以及一檢測裝置。第一管線用以導 入一第一液體至旋涂機。導出裝置用以導出流經(jīng)旋涂機的第一 液體，其中導出裝置具有一切換裝置。第一回收管線連接至導 出裝置。檢測裝置設置在第一管線中，并電性連接至切換裝置。 其中，當?shù)谝灰后w流經(jīng)于第一管線中時，檢測裝置傳送信號至 切換裝置，使得于旋涂機中的第一液體，可經(jīng)由導出裝置， 流入第一回收管線中。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】友達光電股份有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】中國臺灣新竹市 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請?zhí)枴緾N200610105630.0 【申請日】2006-07-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1887446A 【公開公告日】2007-01-03 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100450640C 【授權公告日】2009-01-14 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】B05C5/02; B05C11/10; B05C13/02 【發(fā)明人】陳志慧; 顏瑞伯 【主權項內(nèi)容】1.一種旋涂系統(tǒng)，包括： 一旋涂機； 一第一管線，用以導入一第一液體至該旋涂機； 一導出裝置，用以導出流經(jīng)該旋涂機的該第一液體，其中該導出裝置具 有一切換裝置； 一第一回收管線，連接至該導出裝置；以及 一檢測裝置，設置在該第一管線中，并電性連接至該切換裝置， 其中，當該第一液體流經(jīng)于第一管線中時，該檢測裝置傳送信號至該切 換裝置，使得于該旋涂機中的該第一液體，可經(jīng)由該導出裝置，流入該 第一回收管線中。 【當前權利人】友達光電股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣新竹市 【被引證次數(shù)】5 【被他引次數(shù)】5.0 【家族引證次數(shù)】4.0 【家族被引證次數(shù)】5
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