【摘要】本發(fā)明提供一種半導體晶片的處理方法及晶邊 殘余物去除系統(tǒng)。該晶邊殘余物去除系統(tǒng)與濕浸式光刻工藝一 起使用，包括：多轉(zhuǎn)速馬達，用以旋轉(zhuǎn)晶片吸盤，該馬達可使 該吸盤保持在第一轉(zhuǎn)速大于1500rpm，第二轉(zhuǎn)速約介于 1500rpm和100
【摘要】 一種可快速回復的枕頭結(jié)構(gòu)，主要由至少三層具 備不同彈性系數(shù)的材質(zhì)所構(gòu)成，包括由高密度泡棉所組成的中 間支撐層，及由低抗壓泡棉組成的頭部支撐層及底層，各層體 上設(shè)有復數(shù)貫通呈蜂巢狀的透氣孔，將上述層體相互層迭并結(jié) 合為一體，當受力時，各層體的透氣孔被壓迫而產(chǎn)生具有舒張 的筒狀支撐效果，當重量釋放時，通過其各層體不同彈性系數(shù) 的彈性特性，使透氣孔快速回復原狀而得到可快速回復的枕頭 結(jié)構(gòu)。 【專利類型】實用新型 【申請人】蔡謀榜 【申請人類型】個人 【申請人地址】臺灣省臺中市忠誠路107號3樓之3 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請?zhí)枴緾N200620113429.2 【申請日】2006-04-30 【申請年份】2006 【公開公告號】CN2894482Y 【公開公告日】2007-05-02 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN2894482Y 【授權(quán)公告日】2007-05-02 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】蔡謀榜 【主權(quán)項內(nèi)容】1.一種可快速回復的枕頭結(jié)構(gòu)，主要由泡沫棉制成，其特征在于：枕頭的結(jié)構(gòu)至少有三層具 備不同彈性系數(shù)的材質(zhì)構(gòu)成，包括：頭部、頸部支撐層，中間支撐層和設(shè)置于最下的底層， 其各層上設(shè)均有復數(shù)貫通的透氣孔，將上述三層相互迭并結(jié)合為一體。 【當前權(quán)利人】蔡謀榜 【當前專利權(quán)人地址】臺灣省臺中市忠誠路107號3樓之3 【被引證次數(shù)】1 【家族被引證次數(shù)】1
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