【摘要】一種等離子平面光源結(jié)構(gòu)，包括第一基板、多條第一電極線、多個介電圖案、介電層、第一熒光材料層、第二基板以及密封物。第一基板具有發(fā)光區(qū)與包圍發(fā)光區(qū)之周邊區(qū)。第一電極線設(shè)置于第一基板上，且從周邊區(qū)延伸至發(fā)光區(qū)。介電圖案設(shè)置于第一基板上，且
【摘要】 本實用新型公開了一種晶圓研磨環(huán)構(gòu)造。為解決現(xiàn)有晶圓研磨環(huán)存在塑料環(huán)的研磨面平整精密度誤差過大，須進行長時間的無工件前置研磨作業(yè)而造成研磨工時延宕以及成本提高的問題而設(shè)計。包括一金屬環(huán)以及貼合固定于該金屬環(huán)第一側(cè)面的一塑料環(huán)；該金屬環(huán)的第二側(cè)面為經(jīng)過研磨處理光滑無車痕的表面型態(tài)。上述晶圓研磨環(huán)構(gòu)造，可使塑料環(huán)的研磨面達到較佳平整精密度，進以大幅降低晶圓研磨環(huán)初次上機使用時研磨面平整精密度的誤差值，大幅縮短無工件的前置研磨作業(yè)時間，達到降低研磨機械的耗損、電能及人事成本，延長晶圓研磨環(huán)的塑料環(huán)使用壽命的較佳產(chǎn)業(yè)利用效益及進步性。 【專利類型】實用新型 【申請人】蔡寶珠 【申請人類型】個人 【申請人地址】中國臺灣新竹市北區(qū)延平路一段261巷6弄9號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請?zhí)枴緾N200620137443.6 【申請日】2006-10-17 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200984700Y 【公開公告日】2007-12-05 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN200984700Y 【授權(quán)公告日】2007-12-05 【授權(quán)公告年份】2007.0 【IPC分類號】B24B7/22; B24B29/02; B24B17/00; H01L21/304; H01L21/68; B24B7/20; B24B29/00; H01L21/02; H01L21/67 【發(fā)明人】蔡寶珠 【主權(quán)項內(nèi)容】1、一種晶圓研磨環(huán)構(gòu)造，其包括一金屬環(huán)以及貼合固定于該金屬環(huán)第一側(cè)面的一塑料 環(huán)；其特征在于：該金屬環(huán)的第二側(cè)面為經(jīng)過研磨處理光滑無車痕的表面型態(tài)。 【當前權(quán)利人】蔡寶珠 【當前專利權(quán)人地址】中國臺灣新竹市北區(qū)延平路一段261巷6弄9號 【被引證次數(shù)】3 【被他引次數(shù)】3.0 【家族被引證次數(shù)】3
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