【摘要】一種游戲機的收珠裝置，其是設于游戲機臺的游戲區(qū)下方位置，包括有：一撥桿，是以可擺動升降型態(tài)橫設于游戲區(qū)下方位置，并設有一臨靠于游戲機臺的桿片；一偏心凸輪，是設于該撥桿中段位置下方且于偏心位置設有一偏心軸孔，并于輪面凹設有一圈供該桿片
【摘要】 本發(fā)明是有關于一種多重光罩曝光系統(tǒng)及其曝光方法。該多重光罩曝光系統(tǒng)包括一光罩載臺模塊，用以支承一第一光罩及一第二光罩，其中第一光罩經(jīng)一第一光束照射后形成具有一第一圖案的第一轉換光束，第二光罩經(jīng)一第二光束照射后形成一具有一第二圖案的第二轉換光束。此曝光系統(tǒng)亦包括一光束結合器，用以結合第一轉換光束及第二轉換光束，以形成一結合圖案光束，此結合圖案光束被投射于具有一光阻層之基板。本發(fā)明多重光罩曝光系統(tǒng)及其曝光方法具有達到降低制造成本、提高生產(chǎn)率及消除對準問題的優(yōu)點。 【專利類型】發(fā)明申請 【申請人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】中國臺灣新竹市新竹科學工業(yè)園區(qū)力行六路8號 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請?zhí)枴緾N200610112280.0 【申請日】2006-08-30 【申請年份】2006 【公開公告號】CN1987656A 【公開公告日】2007-06-27 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100538527C 【授權公告日】2009-09-09 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】G03F7/20; H01L21/027; H01L21/02 【發(fā)明人】林本堅 【主權項內(nèi)容】1、一種多重光罩曝光系統(tǒng)，其特征在于其包括： 一光罩載臺模塊，用以支承一第一光罩及一第二光罩，其中該第一光 罩經(jīng)一第一光束照射后形成具有一第一圖案的一第一轉換光束，該第二光 罩經(jīng)一第二光束照射后形成具有一第二圖案的一第二轉換光束；以及 一光束結合器，用以結合該第一轉換光束及該第二轉換光束，以形成 一結合圖案光束，其中該結合圖案光束被投射于具有一光阻層的一基板。 【當前權利人】臺灣積體電路制造股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣新竹市新竹科學工業(yè)園區(qū)力行六路8號 【被引證次數(shù)】4 【被他引次數(shù)】4.0 【家族引證次數(shù)】23.0 【家族被引證次數(shù)】20
未經(jīng)允許不得轉載：http://m.mhvdw.cn/1776718839.html
喜歡就贊一下
