【摘要】本發(fā)明公開一種懸臂式電阻的濕度感測結(jié)構(gòu)及其制法，該結(jié)構(gòu)包括：一基板，具有第一表面及第二表面，該第一及第二表面經(jīng)氧化制程形成一第一及第二氧化層，且具有一貫穿該第一及第二氧化層的開口，并在該開口中保留形成有一懸臂；一電阻感應(yīng)層，形成于該
【專利類型】外觀設(shè)計(jì) 【申請人】英保達(dá)股份有限公司 【申請人類型】企業(yè) 【申請人地址】中國臺灣臺北市 【申請人地區(qū)】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請?zhí)枴緾N200630014752.X 【申請日】2006-04-12 【申請年份】2006 【公開公告號】CN3621326D 【公開公告日】2007-03-14 【公開公告年份】2007 【授權(quán)公告號】CN3621326D 【授權(quán)公告日】2007-03-14 【授權(quán)公告年份】2007.0 【發(fā)明人】劉興政 【主權(quán)項(xiàng)內(nèi)容】無 【當(dāng)前權(quán)利人】英保達(dá)股份有限公司 【當(dāng)前專利權(quán)人地址】中國臺灣臺北市
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