【摘要】一種棒材送料機，包含有一送料管，是設于一機 臺；一設于機臺的傳動裝置；一設于機臺的帶動裝置，其具有 一轉軸；一連接于帶動裝置的押棒，其可受轉軸的驅動而與傳 動裝置結合或分離；一設于機臺的連動裝置；一設于送料管且 連接于連動裝置的推桿
【摘要】 一種用來承載掩模的掩模支撐座，其包含有一支架，一冷卻回路，設于該支架上，用來傳輸冷卻物質，一冷卻物質入口，形成于該冷卻回路上，用來輸入冷卻物質至該冷卻回路，以及一冷卻物質出口，形成于該冷卻回路上，用來由該冷卻回路輸出冷卻物質。 【專利類型】發明申請 【申請人】統寶光電股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】臺灣省新竹科學工業園區苗栗縣 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610065463.1 【申請日】2006-03-24 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101041890A 【公開公告日】2007-09-26 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN100513630C 【授權公告日】2009-07-15 【授權公告年份】2009.0 【IPC分類號】C23C14/24; C23C14/50; H01L21/683; H01L21/67 【發明人】黃壬昶; 曾文綬 【主權項內容】1.一種用來承載掩模的掩模支撐座，其包括： 一支架； 一冷卻回路，設于該支架中，用來傳輸冷媒； 一冷媒入口，形成于該冷卻回路中，用來輸入冷媒至該冷卻回路；以及 一冷媒出口，形成于該冷卻回路中，用來由該冷卻回路輸出冷媒。 【當前權利人】統寶光電股份有限公司 【當前專利權人地址】臺灣省新竹科學工業園區苗栗縣 【被引證次數】4 【被他引次數】4.0 【家族引證次數】4.0 【家族被引證次數】4
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