【摘要】本發明公開一種實時互動的印刷電路板布線系統及方法。該實時互動的印刷電路板布線系統包括：布線人員管理接口、數據處理接口、布線接口以及數據同步接口。該實時互動的印刷電路板布線方法包括以下步驟：設置多個布線人員信息；輸入布線用的數據；對進
【摘要】 一種反應器制造芯片的方法，首先，提供一反應器，反應器至少包括一反應室以及一內管。內管置放于反應室內，且內管具有一晶舟進出開口，而內管的管壁上具有一異物。然后，以一晶舟承載座封閉晶舟進出開口。接著，導引一連續流體進出反應室。然后，調整連續流體的壓力為100托耳(torr)至300托耳(torr)，以清除異物且帶走異物于反應室外。接著，于一清洗時間后停止導引連續流體進出反應室。然后，移除晶舟承載座。接著，置放一晶片于一晶舟上。然后，將晶舟置于晶舟承載座。接著，以晶舟承載座封閉晶舟進出開口，而置入晶舟于反應室內。然后，通入一反應源氣體于反應室，以進行晶片的半導體制作工序。 【專利類型】發明申請 【申請人】旺宏電子股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】臺灣省新竹科學工業園區新竹市力行路16號 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200610009287.X 【申請日】2006-02-21 【申請年份】2006 【公開公告號】CN101026083A 【公開公告日】2007-08-29 【公開公告年份】2007 【IPC分類號】H01L21/00; H01L21/31; H01L21/205; H01L21/3205; C23C16/00; B08B5/00; H01L21/02 【發明人】周志能; 郝鴻虎; 曾國邦 【主權項內容】1.一種制造芯片的方法，包括： 提供一反應器，該反應器至少包括一反應室以及一內管，該內管置放于 該反應室內，該內管具有一晶舟進出開口，該內管的管壁上具有一異物； 以一晶舟承載座封閉該晶舟進出開口； 導引一連續流體進出該反應室； 調整該連續流體的壓力為100托耳至300托耳，以清除該異物且帶走該 異物于該反應室外； 于一清洗時間后停止導引該連續流體進出該反應室； 移除該晶舟承載座； 置放一晶片于一晶舟上； 置放該晶舟于該晶舟承載座； 以該晶舟承載座封閉該晶舟進出開口，而置入該晶舟于該反應室內；以 及 通入一反應源氣體于該反應室內，以進行該晶片的半導體制作工序。 ： 【當前權利人】旺宏電子股份有限公司 【當前專利權人地址】臺灣省新竹科學工業園區新竹市力行路16號 【被引證次數】2 【被他引次數】2.0 【家族被引證次數】2
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