【摘要】本發明是關于一種拋棄式注射器，包括有一針筒、一針組、填充有藥液且可位移地容置在該針筒內的一藥筒，以及可推送藥液及該藥筒的一推送件。該針組具有定位在該針筒內的一定位件、限位在該定位件與該針筒一出口端間的一環座、穿經該環座且穿出該針筒的
【摘要】 本實用新型提出一種改進的半導體機臺，其中針對半導體機臺中真空腔體中晶圓載板下方冷卻基座內的冷卻管路進行改進的設計，在半導體機臺中包含：一個真空腔體；一個位于上述真空腔體之內的載板；一個支撐上述載板的支撐軸；一個位于載板下方的冷卻基座；以及流經支撐軸內部與冷卻基座內部的冷卻管路，其特征在于冷卻管路通過冷卻基座與載板之間的界面，且通過該界面的冷卻管路區段以密封環防護。本實用新型可以提高冷卻效率、增進真空防護以及便利維修。 【專利類型】實用新型 【申請人】聯萌科技股份有限公司 【申請人類型】企業 【申請人地址】中國臺灣新竹縣竹北市光明六路47號9樓 【申請人地區】中國 【申請人城市】臺灣省 【申請號】CN200620132865.4 【申請日】2006-09-27 【申請年份】2006 【公開公告號】CN200953342Y 【公開公告日】2007-09-26 【公開公告年份】2007 【授權公告號】CN200953342Y 【授權公告日】2007-09-26 【授權公告年份】2007.0 【IPC分類號】H01L21/00; H01L21/203; H01L21/3065; H01L21/683; C23C14/00; C23F4/00; H01L21/02; H01L21/67 【發明人】劉相賢 【主權項內容】1.一種改進的半導體機臺，包含： 一個真空腔體； 一個位于上述真空腔體之內的載板； 一個支撐上述載板的支撐軸； 一個位于載板下方的冷卻基座；以及 流經支撐軸內部與冷卻基座內部的冷卻管路， 其特征在于：冷卻管路通過冷卻基座與載板之間的界面。 【當前權利人】力鼎精密股份有限公司 【當前專利權人地址】中國臺灣苗栗縣竹南鎮科義街39號 【被引證次數】2 【被他引次數】2.0 【家族被引證次數】2
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